检测项目
1.介电常数测量:频率范围1MHz-40GHz,精度±0.5%
2.损耗角正切测试:灵敏度0.0001-0.01(tanδ)
3.截止频率验证:误差容限±0.5GHz
4.表面粗糙度分析:Ra值≤0.8μm
5.温度稳定性试验:-55℃至+125℃循环测试
6.机械强度测试:抗压强度≥200MPa
7.尺寸公差检验:轴向偏差≤±5μm
检测范围
1.陶瓷介质波导(Al₂O₃/SiC基复合材料)
2.聚合物复合材料波导(PTFE/石英纤维增强型)
3.石英玻璃介质波导(高纯度熔融石英)
4.微波天线馈线系统(Ku/Ka波段)
5.光子晶体光纤波导(周期结构参数验证)
6.太赫兹频段介质谐振器
7.多层复合介质基板(LTCC/HTCC工艺)
检测方法
1.ASTMD2520:微波频段介电特性测试规范
2.IEC60250:射频损耗角正切测量标准
3.GB/T11313.1-2018:射频连接器机械性能测试
4.ISO1101:几何尺寸与公差(GD&T)评定
5.MIL-STD-883H:温度循环试验方法1015.8
6.GB/T16525-2019:半导体封装材料热膨胀系数测定
7.IEEEStd287:精密同轴连接器校准规程
检测设备
1.KeysightPNA-LN5247B矢量网络分析仪:10MHz-67GHzS参数测量
2.Agilent85070E介电常数测试探头:1MHz-20GHz材料参数提取
3.MitutoyoSJ-410表面轮廓仪:0.01μm粗糙度分辨率
4.ThermoScientificCMD500环境试验箱:-70℃至+180℃温控系统
5.Instron5985万能材料试验机:500kN载荷精度±0.5%
6.OLYMPUSLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜:120nm横向分辨率
7.AnritsuML2437A功率计:-70dBm至+20dBm动态范围
8.Rohde&SchwarzFSW67信号分析仪:67GHz实时频谱分析
9.TektronixDPO70000SX示波器:70GHz带宽采样率
10.BrukerContourGT-X3光学干涉仪:0.1nm垂直分辨率