检测项目

1.面形精度（PV值：λ/10-λ/2；RMS值：λ/50-λ/20）

2.表面粗糙度（Ra：0.1-10nm；Rq：0.2-12nm）

3.曲率半径误差（0.01%-0.5%）

4.平面度误差（0.1-5μm/m）

5.厚度均匀性（0.05-1μm）

检测范围

1.光学元件：透镜、棱镜、反射镜等玻璃/晶体材料

2.半导体晶圆：硅片、砷化镓基片及光掩模版

3.精密机械部件：轴承滚道、导轨平面

4.薄膜涂层：AR膜、IR滤光膜层结构

5.光学镀膜材料：TiO₂/SiO₂多层膜系

检测方法

1.ASTME284-22《StandardTerminologyforAppearance》表面粗糙度测量规范

2.ISO10110-5:2015《光学和光子学-图纸要求-第5部分:面形公差》

3.GB/T2831-2009《光学零件平面度测试方法》

4.ISO14997-1:2018《光学元件表面缺陷检测方法》

5.GB/T13323-2009《光学零件曲率半径测试方法》

检测设备

1.ZygoVerifireMST激光干涉仪（波长632.8nm，精度λ/1000）

2.TaylorHobsonCCIHD非接触式表面轮廓仪（垂直分辨率0.01nm）

3.BrukerContourGT-X3白光干涉仪（最大扫描范围10mm10mm）

4.Keysight5500A动态干涉系统（振动补偿频率200Hz）

5.MitutoyoMF-U1000高精度平面干涉仪（测量直径Φ300mm）

6.FisbaμPhase数字全息干涉仪（实时相位解析速度30fps）

7.NikonNEXIVVMZ-S3520影像测量系统（XYZ轴精度(1.5+L/100)μm）

8.Optoflat电子散斑干涉仪（应变测量灵敏度50με）

9.TriopticsOptiSphericIFR轮廓分析仪（曲率半径测量范围5m）

10.4DTechnologyPhaseCam6000动态干涉仪（环境抗振能力＞10g）