检测项目

1.折射率梯度分布：测量波长范围400-1600nm，分辨率0.0001

2.表面面形误差：PV值≤λ/20（λ=632.8nm），RMS≤λ/100

3.透射波前畸变：空间频率1-100lp/mm范围内相位偏差≤0.05λ

4.材料均匀性：折射率变化Δn≤210⁻⁶

5.镀膜应力效应：膜层应力≤100MPa，曲率半径变化量≤0.5m⁻

检测范围

1.非球面光学玻璃透镜（直径Φ10-500mm）

2.红外硫系化合物窗口片（Ge,ZnSe,ZnS）

3.微结构聚合物薄膜（周期50-500μm）

4.激光晶体元件（Nd:YAG,LiNbO₃）

5.金属介质复合镀膜基板（Al/MgF₂,Ag/ZnS）

检测方法

1.ASTME284-17《光学表面特征描述标准术语》

2.ISO10110-5:2015《光学元件面形公差表示规范》

3.GB/T7661-2009《光学零件表面疵病检测方法》

4.ISO14997-2011《光学表面缺陷测试方法》

5.GB/T11297.11-2015《激光晶体波前畸变测量方法》

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm/1064nm双模式，面形测量精度λ/1000

2.TriopticsOptiCentric双光路定心仪：同轴度测量精度1μm

3.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，扫描速度50μm/s

4.ShimadzuAIM-9000红外分光光度计：光谱范围2-25μm，分辨率0.1cm⁻

5.4DTechnologyPhaseCam干涉仪：动态范围10λ，振动免疫测量系统

6.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：Z轴分辨率1nm，最大行程200mm

7.NewportAutoAlign自动准直系统：角度分辨率0.1arcsec

8.ThorlabsWFS-300波前传感器：Shack-Hartmann原理，128128子孔径阵列

9.Keysight5500激光干涉仪：双频激光源，线性测量精度0.1ppm

10.MitutoyoMF-U1000超精密三坐标机：空间精度(0.6+L/1000)μm