检测项目

1.角度分辨率：测量精度0.001，量程范围0-360

2.重复性误差：三次测量偏差≤0.005

3.线性度偏差：全量程非线性度＜0.02%FS

4.温度漂移：-40℃至85℃环境波动≤0.003/℃

5.动态响应特性：阶跃响应时间≤5ms

检测范围

1.光学玻璃棱镜与滤光片

2.MEMS陀螺仪与加速度计

3.工业机器人旋转关节

4.激光雷达扫描模块

5.航空轴承精密组件

检测方法

ASTME3061-17激光干涉法角度测量标准

ISO230-2:2014数控机床旋转轴重复性测试

GB/T17421.3-2018圆分度器件校准规范

ISO9283:2022工业机器人位姿特性试验

GB/T11337-2019平面度与垂直度误差测量

检测设备

1.TriOpticsOptiAngle300系列：全自动高精度角度分析仪（分辨率0.0005）

2.RenishawXL-80激光干涉仪：动态角度测量系统（采样率50kHz）

3.KeyenceIM-8000图像测量仪：非接触式二维角度分析装置

4.HexagonLeitzPMM-CInfinity：三坐标测量机角度模块（精度0.8μm+3μm/m）

5.ZygoVerifireMST干涉仪：纳米级表面倾斜角测量系统

6.OGPSmartScopeFlash500：多传感复合式角度测量工作站

7.MitutoyoRA-H600A：高刚性旋转分度台（定位精度1″）

8.NewportAG-UC8精密万向架：六自由度微调平台（角分辨率0.1μrad）