检测项目
1.静态精度测试:测量误差≤0.1%FS(满量程),测试点覆盖10%、50%、90%量程
2.动态响应时间:阶跃压力下响应时间≤5ms(0-100%量程)
3.温度漂移特性:-40℃~125℃范围内零点漂移≤0.05%FS/℃
4.长期稳定性:1000小时连续工作后输出偏差≤0.2%FS
5.过载能力验证:150%额定压力持续30分钟后的线性度变化≤0.1%FS
检测范围
1.MEMS压阻式传感器(硅基敏感元件)
2.陶瓷厚膜压力传感器(Al₂O₃基体)
3.扩散硅压力传感器(不锈钢隔离膜片)
4.溅射薄膜式压力传感器(钛合金弹性体)
5.光纤光栅压力传感器(石英玻璃材质)
检测方法
ASTME2073-19《压力传感器静态校准标准试验方法》
ISO8767:2020《工业过程控制装置压力传感器性能评定》
GB/T15478-2015《压力传感器性能试验方法》
GB/T28855-2012《硅压阻式压力敏感元件通用技术条件》
IEC60770-3:2014《工业过程控制系统用变送器第3部分:压力变送器的评定方法》
检测设备
1.FlukePPC4压力控制器:量程0-40MPa,精度0.025%读数
2.DruckDPI620Genii多功能校验仪:支持0.01级压力标准输出
3.ESPECPCT-322温度试验箱:温控范围-70℃~180℃
4.NIPXIe-4339桥路测量模块:24位分辨率,采样率50kS/s
5.MensorCPC8000自动压力校准系统:不确定度0.005%FS
6.Keysight34972A数据采集器:支持多通道同步测量
7.Endevco2918A振动台:频率范围5Hz-10kHz
8.Agilent34461A数字万用表:6位高精度测量
9.DruckRPSPro高压发生器:最高700MPa压力输出
10.AmetekJOFRACTC-156干体炉:温度校准精度0.05℃