检测项目

1.焦点-胶片平面几何精度验证：测量误差≤0.02mm（ISO17636-2:2013）

2.射线源组件轴向平行度检测：最大允许偏差0.1μm/m（GB/T23909.1-2022）

3.动态距离稳定性测试：连续8小时漂移量＜5μm（ASTME1742-18）

4.多轴运动系统同步精度校准：XYZ三轴同步误差≤0.8μm（EN12543-5:2021）

5.温度补偿系数测定：-20℃~50℃范围内补偿精度0.5ppm/℃（ISO10360-7:2011）

检测范围

1.医用X射线成像系统CR/DR探测器组件

2.工业CT设备旋转靶台定位系统

3.航空航天用γ射线探伤机机械导轨

4.半导体行业电子束光刻机工作台

5.核电站乏燃料棒自动检测装置传输机构

检测方法

ASTME1695-20《射线照相系统几何特性测试规程》规定激光干涉法测量基准距离

ISO17636-2:2013附录C要求使用阶梯楔块进行系统分辨率验证

GB/T23909.1-2022第6.3条款明确双频激光干涉仪校准流程

EN12543-5:2021规定多轴运动系统同步误差的球杆仪检测法

ASMEVArticle2T-274要求采用标准孔型像质计进行灵敏度验证

检测设备

1.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量分辨率0.001μm，最大量程80m

2.KEYENCELK-G5000高精度测距传感器：重复精度0.3μm，采样频率392kHz

3.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：空间精度15μm+6μm/m

4.OGPSmartScopeFlash500多传感器系统：光学放大倍率250X

5.MitutoyoCMMCrysta-ApexS系列三坐标机：最大允许误差0.3+L/1000μm

6.FlukeTiX580红外热像仪：热灵敏度＜0.03℃@30℃

7.APIXDLaser六维激光跟踪仪：角度测量精度0.7μm/m

8.ZYGOVerifireMST干涉仪：面形测量精度λ/1000RMS

9.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm

10.FAROVantageS6全站仪：测距精度0.6mm@50m