检测项目

1.光束发散角测量：采用远场扫描法测定发散半角值（典型范围0.5mrad-5mrad）

2.材料折射率分布：使用干涉法测量折射率梯度（精度0.0002）

3.表面曲率半径偏差：基于非接触式轮廓仪测量（允许公差0.05mm）

4.波前畸变量化：通过Shack-Hartmann传感器分析RMS值（分辨率λ/50）

5.透射/反射均匀性：扫描式分光光度计测量（波长范围380-2500nm）

6.热致形变系数：高低温循环试验（温度范围-40℃~+120℃）

检测范围

1.光学透镜组：包括球面/非球面透镜、菲涅尔透镜等成像元件

2.激光器组件：涵盖激光晶体、谐振腔镜片等增益介质

3.镀膜制品：AR/IR/分光膜等光学薄膜产品（厚度50nm-10μm）

4.光纤器件：保偏光纤、光子晶体光纤等传输介质

5.精密模具：注塑成型用光学级模具（表面粗糙度Ra≤5nm）

检测方法

1.ASTME903-20《材料透光率与反射率标准测试方法》

2.ISO10110-5:2015《光学元件表面缺陷公差规范》

3.GB/T13323-2009《光学薄膜参数测量方法》

4.ISO14997:2012《光学表面缺陷检测方法》

5.GB/T11168-2021《激光光束宽度与发散角测试方法》

6.ASTMF218-20《激光干涉测量法测试光学元件标准》

检测设备

1.ZYGOVerifire™HDX激光干涉仪：波前分析精度λ/1000PV值

2.MitutoyoSURFTESTSJ-410轮廓仪：纵向分辨率0.8nm

3.OphirSpiriconM2-200光束质量分析仪：CCD像素20482048

4.AgilentCary7000全能型分光光度计：波长扩展至2500nm

5.TriopticsOptiCentric双轴中心偏测量系统：角度精度15"

6.PrimesFocusMonitor激光焦斑分析仪：采样频率10kHz

7.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.1

8.ThorlabsBP209-IR/M红外光束分析仪：探测面积25mm25mm

9.KeysightN1076A偏振分析仪：波长范围1260-1640nm

10.SCHOTTMLA高温折射率测试系统：控温精度0.1℃