检测项目
1.方块电阻（Rs）：测量范围0.1Ω/□-100kΩ/□，精度1%
2.电阻温度系数（TCR）：测试温度范围-55℃~150℃，分辨率0.1ppm/℃
3.薄层均匀性：9点/13点测量法，偏差率≤5%
4.接触电阻：四线法测量，分辨率0.01mΩ
5.载流子浓度：霍尔效应测试，范围1E14~1E20cm⁻
检测范围
1.半导体材料：硅晶圆、砷化镓基片、碳化硅外延层
2.薄膜材料：ITO导电膜、金属溅射薄膜、石墨烯涂层
3.电子元件：厚膜电阻器、PCB导电线路、芯片互连结构
4.光伏材料：太阳能电池发射极、背表面场层
5.功能涂层：抗静电涂层、电磁屏蔽镀层
检测方法
1.ASTMF76：四探针法测量半导体材料电阻率标准规程
2.ISO1853：导电橡胶体积电阻率测试方法
3.GB/T1551：硅单晶电阻率测定直流四探针法
4.IEC60404-13：软磁材料直流磁性能测量规范
5.JISH0602：硅外延层薄层电阻测试标准
检测设备
1.RTS-9型四探针测试仪：量程10μΩcm~100MΩcm，配备温控平台
2.HMS-5000霍尔效应测试系统：支持范德堡法测量，磁场强度0~2T
3.AgilentB1500A半导体分析仪：IV/CV特性分析模块
4.JandelRM3000+自动探针台：支持200mm晶圆测试定位
5.Keithley2450源表：最小电流分辨率10fA
6.CascadeSummit12000探针台：支持高低温测试(-65℃~300℃)
7.LucasLabsS-302-4四线制电阻测试仪：基本精度0.02%
8.ThermoScientificHCS140温控箱：温度稳定性0.1℃
9.VeecoDektakXT台阶仪：集成导电探针模块
10.KeysightE4990A阻抗分析仪：频率范围20Hz~120MHz