检测项目
1.波前误差RMS值：测量范围5λ（λ=632.8nm），分辨率0.005λ
2.像散量Z5/Z6系数：Zernike多项式5/6项系数绝对值≤0.15λ
3.离焦量Z4系数：轴向偏移量换算精度0.02mm
4.彗差系数Z7/Z8：三阶像差分量偏差≤0.1λ@视场边缘
5.畸变量Z2/Z3：横向偏移误差≤3μm@全视场
检测范围
1.非球面光学镜头（F数≤1.4）
2.激光加工系统聚焦镜组（波长1064nm/532nm）
3.显微物镜（NA≥0.8）
4.投影光刻机曝光镜头（线宽≤7nm）
5.光纤耦合器自聚焦透镜（直径Φ1.0-Φ5.0mm）
检测方法
ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷公差规范
ISO14999-4:2015光学系统波前像差测试方法
ASTMF529-03(2019)激光束像散测量规程
GB/T1185-2006光学零件表面疵病检验方法
GB/T7661-2009光学零件气泡度检验方法
检测设备
1.ZygoVerifireMST激光干涉仪：波长632.8nm，PV重复性＜0.002λ
2.TriopticsComet300像差分析仪：最大测量孔径Φ300mm
3.4DTechnologyAccuFiz动态干涉仪：振动抑制＞50dB
4.ThorlabsWFS-300波前传感器：微透镜阵列1515mm
5.OptikosOT-1000MTF测试系统：空间频率0-200lp/mm
6.MalvernPanalyticalOSL散射仪：角度分辨率0.001
7.HamamatsuC11440CCD成像模块：量子效率＞80%@500nm
8.KeysightN7788B偏振分析仪：消光比测量精度0.05dB
9.OlympusMX63金相显微镜：最大放大倍率1500
10.RenishawXL-80激光测距仪：线性测量精度0.5ppm