检测项目

1.波前误差RMS值：测量范围5λ（λ=632.8nm），分辨率0.005λ

2.像散量Z5/Z6系数：Zernike多项式5/6项系数绝对值≤0.15λ

3.离焦量Z4系数：轴向偏移量换算精度0.02mm

4.彗差系数Z7/Z8：三阶像差分量偏差≤0.1λ@视场边缘

5.畸变量Z2/Z3：横向偏移误差≤3μm@全视场

检测范围

1.非球面光学镜头（F数≤1.4）

2.激光加工系统聚焦镜组（波长1064nm/532nm）

3.显微物镜（NA≥0.8）

4.投影光刻机曝光镜头（线宽≤7nm）

5.光纤耦合器自聚焦透镜（直径Φ1.0-Φ5.0mm）

检测方法

ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷公差规范

ISO14999-4:2015光学系统波前像差测试方法

ASTMF529-03(2019)激光束像散测量规程

GB/T1185-2006光学零件表面疵病检验方法

GB/T7661-2009光学零件气泡度检验方法

检测设备

1.ZygoVerifireMST激光干涉仪：波长632.8nm，PV重复性＜0.002λ

2.TriopticsComet300像差分析仪：最大测量孔径Φ300mm

3.4DTechnologyAccuFiz动态干涉仪：振动抑制＞50dB

4.ThorlabsWFS-300波前传感器：微透镜阵列1515mm

5.OptikosOT-1000MTF测试系统：空间频率0-200lp/mm

6.MalvernPanalyticalOSL散射仪：角度分辨率0.001

7.HamamatsuC11440CCD成像模块：量子效率＞80%@500nm

8.KeysightN7788B偏振分析仪：消光比测量精度0.05dB

9.OlympusMX63金相显微镜：最大放大倍率1500

10.RenishawXL-80激光测距仪：线性测量精度0.5ppm

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与彗形象差检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。