检测项目
1.电导率测试:测量范围0.1-10^8S/m,精度0.5%
2.体积电阻率测定:量程10^-6-10^14Ωcm,温度补偿范围-40℃~200℃
3.表面电阻分析:测试电压10V-1000VDC,分辨率0.01Ω/sq
4.载流子浓度检测:霍尔效应法测量10^10-10^21cm^-3浓度区间
5.迁移率测试:精度3%,适用温度范围77K-500K
检测范围
1.金属材料:铜合金、铝合金、贵金属镀层等导体材料
2.半导体材料:硅晶圆、GaN基板、有机半导体薄膜等
3.导电高分子材料:PEDOT:PSS复合材料、碳纳米管掺杂聚合物
4.电子元器件:PCB板导通线路、连接器触点、电磁屏蔽材料
5.新能源材料:锂离子电池电极材料、燃料电池双极板等
检测方法
1.ASTMB193-20《标准电导率测试规程》:直流四探针法测量导体材料
2.ISO3915:2021《塑料体积电阻测定》:三电极系统测试绝缘材料
3.GB/T3048.2-2007《电线电缆电性能试验》:导体直流电阻测量方法
4.IEC62631-3-1:2016《纳米材料导电性评估》:扫描探针显微技术应用
5.GB/T15738-2008《导电和抗静电纤维电阻试验》:旋转电极法测定纤维材料
检测设备
1.KEITHLEY6517B静电计:10aA分辨率电阻测量系统
2.AgilentB1500A半导体分析仪:支持AC/DC阻抗谱分析
3.Loresta-GXMCP-T700四探针电阻测试仪:自动温度补偿功能
4.JandelRM3000+四探针台:支持范德堡法测量薄层电阻
5.KeysightE4990A阻抗分析仪:频率范围20Hz至120MHz
6.LakeShore8400系列霍尔效应测试系统:磁场强度达2T
7.MitsubishiMCP-PD51表面电阻计:符合ESDS11.11标准
8.HIOKIRM3545微电阻计:最小分辨率0.01μΩ
9.ZEM-3热电特性测量系统:同步测定电导率与塞贝克系数
10.CascadeSummit12000探针台:支持12英寸晶圆级测试