检测项目

1.分划精度：测量刻线间距误差范围0.5μm至2μm

2.重复性误差：连续10次测量偏差≤0.3μm

3.线性度误差：全量程范围内偏差≤0.1%FS

4.温度漂移：-20℃~60℃环境下位移变化量≤0.8μm/℃

5.负载变化影响：额定载荷20%时示值波动≤0.05%

检测范围

1.光学仪器分划板：包括显微镜目镜分划板、望远镜标线片

2.精密机械部件：数控机床光栅尺、编码器码盘

3.电子传感器元件：激光位移传感器标定板、电容式栅极阵列

4.航空航天器件：惯性导航系统刻度环、星敏感器基准网格

5.医疗设备组件：CT机准直器栅格、手术导航定位标尺

检测方法

1.ASTME2934-13：采用激光干涉法进行亚微米级线性测量

2.ISO10110-7:2017：光学元件分划质量评价规范

3.GB/T17421.2-2016：数控机床坐标测量系统检测方法

4.ISO10360-7:2011：坐标测量机性能验证标准

5.GB/T13962-2009：光学仪器术语及基本参数测定方法

检测设备

1.MitutoyoCMM-CrystaApexS系列三坐标测量机（空间精度0.6+L/400μm）

2.ZygoVerifireMST激光干涉仪（分辨率0.1nm）

3.KeyenceLM-9000系列激光位移计（测量范围50mm0.02μm）

4.OlympusSTM7测量显微镜（物镜放大倍率50X~1000X）

5.RenishawXL-80激光跟踪仪（动态测量精度15μm+6μm/m）

6.HexagonAbsoluteArm7525SI关节臂测量机（空间精度28μm）

7.NikonNEXIVVMZ-S655影像测量系统（重复精度0.8μm）

8.Agilent5530动态校准仪（频率响应范围0-100Hz）

9.TaylorHobsonTalyrond585圆度仪（径向精度0.025μm）

10.OGPSmartScopeFlash500多传感器系统（Z轴分辨率0.01μm）