检测项目
1.元素电负性测定:采用Pauling标度(0.7-4.0)定量分析主族元素及过渡金属的电子亲和力
2.表面电荷密度测试:测量范围110⁻⁶-510⁻C/m,精度0.05%
3.功函数测量:覆盖2-6eV范围,分辨率达0.01eV
4.极化率分析:频率范围10-10⁶Hz下测定介电常数(ε=1-100)
5.温度依赖性测试:-196℃至1200℃温区内监测电负性变化梯度
检测范围
1.半导体材料:包括硅晶圆(掺杂浓度110⁴-110⁰atoms/cm)、GaN薄膜等
2.金属合金:钛铝合金(Ti6Al4V)、镍基高温合金(Inconel718)等
3.高分子材料:聚四氟乙烯(PTFE)、聚酰亚胺薄膜(厚度50-200μm)
4.无机非金属材料:氧化铝陶瓷(纯度≥99.5%)、碳化硅涂层等
5.生物医用材料:羟基磷灰石涂层(Ca/P比1.670.02)、医用不锈钢316L
检测方法
1.ASTME1251-17a火花放电原子发射光谱法测定金属元素电负性
2.ISO18118:2015表面化学分析-X射线光电子能谱法测定功函数
3.GB/T223.5-2008钢铁中硅含量的测定-电感耦合等离子体原子发射光谱法
4.ISO14701:2011陶瓷材料表面电荷密度测量规范
5.GB/T33323-2016塑料制品表面电阻率测试方法
检测设备
1.ThermoScientificK-Alpha+X射线光电子能谱仪:配备单色化AlKα源(1486.6eV),能量分辨率<0.5eV
2.KeysightB1500A半导体参数分析仪:支持10fA-1A电流测量精度
3.PerkinElmerOptima8300电感耦合等离子体发射光谱仪:波长范围165-782nm
4.BrukerDimensionIcon原子力显微镜:接触模式分辨率0.1nm
5.Agilent4294A精密阻抗分析仪:频率范围40Hz-110MHz
6.HitachiSU8220场发射扫描电镜:配备牛津X-MaxN80能谱仪
7.NetzschSTA449F3同步热分析仪:温度范围RT-1550℃
8.AntonPaarSurPASS3电化学表面分析仪:zeta电位测量精度1mV
9.LakeShoreCRX-VF低温探针台:温控范围4K-475K
10.MalvernZetasizerNanoZSP动态光散射仪:粒径测量范围0.3nm-10μm