浸没透镜检测

检测项目

1.折射率均匀性：全口径Δn≤210⁻⁶@633nm

2.表面粗糙度：Ra≤0.5nm（有效孔径≥90%）

3.中心厚度偏差：0.005mm（Φ50mm标准件）

4.透射波前畸变：PV值≤λ/10@632.8nm

5.抗激光损伤阈值：≥15J/cm（1064nm,10ns）

检测范围

1.氟化钙（CaF₂）晶体浸没透镜

2.熔融石英（FusedSilica）高功率激光透镜

3.硫系玻璃（ChG）红外成像透镜

4.硅基液晶（LCoS）微显示模组

5.纳米压印光刻机用复合透镜组

检测方法

ASTME903-20透射光谱测试法

ISO10110-5:2015表面缺陷评定规范

GB/T7962.1-2010光学晶体折射率均匀性测定

ISO14997:2018光学表面激光损伤测试

GB/T2831-2009光学零件面形偏差检验方法

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，面形精度λ/100PV

2.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：纵向分辨率0.1nm

3.FilmetricsF40膜厚测量仪：光谱范围190-1700nm

4.TriopticsOptiCentric双光路定心仪：角度分辨率1"

5.PrimesMicroSpotMonitor激光损伤测试系统：光斑直径200μm

6.AgilentCary7000紫外可见近红外分光光度计：波长范围175-3300nm

7.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.01nm

8.Schmidt+HaenschRefractometerRPA200：折射率精度510⁻⁶

9.OphirPE50BF-DIF激光功率计：测量范围100μW-50W

10.MitutoyoCMMCrysta-ApexS12308三坐标机：空间精度(1.9+L/250)μm