检测项目

1.灵敏度：测量单位辐照度下的输出电流值（μA/(W/cm)），典型范围0.5-3.0μA/(W/cm)

2.分辨率：采用线对测试卡评估空间分辨能力（≥200lp/mm）

3.线性度：在10-1000lx照度范围内验证输出信号线性度（R≥0.998）

4.暗电流：无光照条件下测量本底噪声电流（≤1nA@25℃）

5.光谱响应：分析400-1100nm波长范围的量子效率（峰值≥65%@650nm）

检测范围

1.半导体制造用光刻胶涂层离子感光板

2.X射线成像系统专用高能光子探测板

3.微电子机械系统（MEMS）集成式传感基板

4.航天级抗辐射加固型感光模块

5.医用CT设备多层探测阵列组件

检测方法

ASTMF1248-16：光电探测器绝对光谱响应测试规范

ISO15529:2010：光学系统调制传递函数测量方法

GB/T26277-2017：半导体器件暗电流测试规程

IEC60747-5-5:2020：光电元件线性度评估标准

GB/T30111-2013：航天电子器件抗辐射性能试验方法

检测设备

1.Keithley2636B双通道源表：提供10nA至10A的精密电流测量能力

2.OrielSol3AClassAAA太阳模拟器：输出光谱匹配度AM1.5G25%

3.PerkinElmerLambda1050+分光光度计：波长精度0.08nm@Hg546nm

4.OlympusBX53M金相显微镜：配备2000万像素CMOS成像模块

5.AgilentB1500A半导体参数分析仪：支持10fA级微弱电流测量

6.ThermoScientificARLEQUINOX100X射线衍射仪：Cu靶Kα射线源（λ=1.5406）

7.LabsphereLMS-7600积分球系统：直径75cm0.5%均匀性误差

8.KeysightN9030B频谱分析仪：频率范围3Hz至50GHz0.4dB幅度精度