检测项目

1.平面度误差：测量基准面与理论平面的最大偏差值（单位：μm）

2.表面粗糙度：Ra值范围0.1-6.3μm，Rz值范围0.5-25μm

3.平行度公差：相对基准面的偏移量≤0.02mm/m

4.波纹度分析：波长0.1-10mm范围内的周期性起伏高度

5.微观形貌特征：三维表面轮廓Sa值0.05-2.5μm

检测范围

1.金属加工件：铝合金/钛合金精密部件

2.陶瓷基板：氮化铝/氧化锆电子封装材料

3.光学玻璃：非球面透镜/棱镜组件

4.高分子复合材料：碳纤维增强聚合物结构件

5.半导体晶圆：硅片/砷化镓衬底材料

检测方法

ASTME1967-2019光学平面干涉测量标准

ISO4287:1997表面结构轮廓法术语定义

GB/T11337-2004平面度误差测量规范

ISO25178-2:2022三维表面纹理分析标准

GB/T1031-2009表面粗糙度参数及其数值

检测设备

1.ZygoVerifireHD激光干涉仪：波长632.8nm，精度0.5nm

2.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：测量范围800μm，分辨率0.01μm

3.HexagonGlobalClassic三坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm

4.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm

5.TaylorHobsonFormTalysurfPGI1240轮廓仪：Z轴量程12mm

6.KeyenceVR-5000三维扫描系统：点距1μm，扫描速度300,000点/秒

7.RenishawXL-80激光跟踪仪：测量距离80m，精度0.5ppm

8.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：12000放大倍率

9.MarSurfLD260接触式轮廓仪：测力0.75mN-4mN可调

10.NikonNEXIVVMZ-S3520视频测量系统：双倍频LED照明系统