检测项目
1.平面度误差：测量基准面与理论平面的最大偏差值（单位：μm）
2.表面粗糙度：Ra值范围0.1-6.3μm，Rz值范围0.5-25μm
3.平行度公差：相对基准面的偏移量≤0.02mm/m
4.波纹度分析：波长0.1-10mm范围内的周期性起伏高度
5.微观形貌特征：三维表面轮廓Sa值0.05-2.5μm
检测范围
1.金属加工件：铝合金/钛合金精密部件
2.陶瓷基板：氮化铝/氧化锆电子封装材料
3.光学玻璃：非球面透镜/棱镜组件
4.高分子复合材料：碳纤维增强聚合物结构件
5.半导体晶圆：硅片/砷化镓衬底材料
检测方法
ASTME1967-2019光学平面干涉测量标准
ISO4287:1997表面结构轮廓法术语定义
GB/T11337-2004平面度误差测量规范
ISO25178-2:2022三维表面纹理分析标准
GB/T1031-2009表面粗糙度参数及其数值
检测设备
1.ZygoVerifireHD激光干涉仪：波长632.8nm，精度0.5nm
2.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：测量范围800μm，分辨率0.01μm
3.HexagonGlobalClassic三坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm
4.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm
5.TaylorHobsonFormTalysurfPGI1240轮廓仪：Z轴量程12mm
6.KeyenceVR-5000三维扫描系统：点距1μm，扫描速度300,000点/秒
7.RenishawXL-80激光跟踪仪：测量距离80m，精度0.5ppm
8.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：12000放大倍率
9.MarSurfLD260接触式轮廓仪：测力0.75mN-4mN可调
10.NikonNEXIVVMZ-S3520视频测量系统：双倍频LED照明系统