检测项目

1.圆分度误差：测量360范围内每1间隔的角位移偏差（0.5"~5"）

2.线性分度误差：评估每毫米/英寸刻线间距偏差（0.5μm~3μm）

3.重复定位精度：连续10次同点复测的离散值（≤1.5"）

4.累积误差：全行程内最大偏差值（≤10"或≤5μm）

5.回程差：正反向运动的位置差值（≤2"或≤1μm）

检测范围

1.精密机械零件：数控转台分度盘、滚珠丝杠导程部件

2.光学仪器：光栅编码器、多面棱体基准器件

3.量具量仪：千分尺螺杆、游标卡尺主尺刻线

4.数控机床：刀塔分度机构、回转工作台

5.汽车零部件：转向器齿条、变速箱同步环

检测方法

ASTME2848-21：采用激光干涉法测量旋转轴系动态分度误差

ISO230-2:2014：通过步距规进行线性轴定位精度检测

GB/T17421.2-2016：规定多齿分度台比对测量方法

GB/T1800.2-2020：基于标准量块的长度分度校准规程

VDI/DGQ3441:2012：统计过程控制法评估重复定位精度

检测设备

1.HexagonGlobalS三坐标测量机：配备RDS-C5测头系统，空间定位精度0.6+L/400μm

2.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量分辨率0.001μm，最大测程80m

3.WylerZerotronic双轴电子水平仪：角度分辨率0.001，量程10

4.KGMCDI-2020圆分度检查仪：最大直径2000mm，角测量不确定度0.3"

5.MitutoyoLH-600测长机：接触式测量力0.1N~0.5N可调，分辨率0.01μm

6.APIXDLaser六维激光跟踪仪：动态角度测量精度15μm+6μm/m

7.SIOSSP2000平面激光干涉仪：平面度测量精度λ/100（λ=632.8nm）

8.TESAMicro-Hite3D高度规：Z轴重复性0.3μm，最大行程600mm

9.Keysight5530动态校准仪：频率响应DC至50Hz，位移分辨率1nm

10.ZEISSUMC850五轴测量机：转台定位精度1"，重复性0.5"