检测项目
1.氨浓度残留量：测量范围0-1000ppm，分辨率2ppm
2.氢气体积分数：检测精度0.5%，量程5-99.9%
3.露点温度：-80℃至+20℃，精度1.5℃
4.氧含量分析：0-1000ppm量程，重复性误差≤3%
5.氮气纯度验证：99.999%级高纯氮检测
检测范围
1.金属热处理工艺中的渗氮/碳氮共渗设备
2.电子工业用半导体封装保护气氛系统
3.粉末冶金烧结炉内还原性气氛环境
4.特种玻璃制造高温成型保护气体
5.航天材料表面改性处理装置
检测方法
1.ASTME260-96(2019)气相色谱法测定分解氨组分
2.ISO19702:2015傅里叶变换红外光谱法多组分分析
3.GB/T5832.1-2016微量水分测定电解法
4.GB/T6285-2016气体中微量氧的测定电化学法
5.ASTMD7649-10(2021)氢纯度质谱分析法
检测设备
1.ThermoScientificTRACE1310气相色谱仪：配备TCD检测器，用于H₂/N₂比例分析
2.SiemensULTRAMAT23红外分析仪：多组分气体连续监测系统
3.MichellS8000RS露点仪：冷镜式精密水分测定装置
4.HORIBAEMGA-920氧氮分析仪：脉冲加热惰气熔融法测定微量氧
5.Agilent490MicroGC便携式色谱仪：现场快速气体成分分析
6.AMETEKCG-2100氢纯度分析仪：热导原理测量系统
7.ServomexXentra4900多参数气体分析系统：集成电化学/光学传感技术
8.GEDruckDPI620压力校验仪：气氛压力稳定性验证装置
9.Testo350烟气分析仪扩展版：可配置NH3/H2专用传感器模块
10.MKSMultiGas™2030傅里叶变换红外光谱仪：实时过程气体监测系统