检测项目
1.纯度分析：测定主成分浓度≥99.99%，分辨率达0.0001%
2.杂质气体含量：涵盖CO₂≤0.1ppm、THC≤0.05ppm等痕量组分
3.水分含量：露点温度≤-70℃，对应含水量≤0.1ppmv
4.氧含量分析：检出限≤0.01ppm的微量氧测定
5.颗粒物浓度：粒径≥0.1μm的颗粒数≤1个/L
检测范围
1.半导体制造用高纯气体：氩气(Ar)、氮气(N₂)等电子级气体
2.医疗用高纯气体：医用氧气(O₂)、麻醉气体(Xe)等
3.特种工艺气体：硅烷(SiH₄)、氨气(NH₃)等高危气体
4.电子工业保护气：CVD工艺用H₂/N₂混合气
5.科研用超纯气体：同步辐射光源用He/Ne混合气
检测方法
1.ASTMD1945-14：气相色谱法测定烃类杂质
2.ISO13443:2021：激光光谱法测量水分及氧含量
3.GB/T6285-2016：电化学传感器法测微量氧
4.ASTMF313-09：傅里叶红外光谱法分析酸性气体
5.GB/T8979-2008：粒子计数器法测定颗粒物浓度
检测设备
1.Agilent7890B气相色谱仪：配备TCD/FID双检测器，分辨率0.01ppm
2.SiemensMaxumII工业色谱仪：在线监测系统响应时间＜30s
3.AMETEK5100氧分析仪：电化学原理测量范围0-1000ppm
4.HORIBAVA-3000露点仪：镜面冷却法精度0.1℃
5.TSI3889粒子计数器：0.1μm粒径检出限5%误差
6.ThermoFisherISQ7000质谱仪：质量范围1-1000amu，灵敏度1pptv
7.BrukerVERTEX80v红外光谱仪：光谱分辨率0.08cm⁻
8.MKSMultiGas™2030分析仪：四通道激光光谱同步测量
9.ShimadzuGC-2030ATFPD：硫化物专用检测器灵敏度0.01ppb
10.INFICONHAPSITEER便携式GC/MS：现场快速筛查系统