高纯气体检测

检测项目

1.纯度分析：测定主成分浓度≥99.99%，分辨率达0.0001%

2.杂质气体含量：涵盖CO₂≤0.1ppm、THC≤0.05ppm等痕量组分

3.水分含量：露点温度≤-70℃，对应含水量≤0.1ppmv

4.氧含量分析：检出限≤0.01ppm的微量氧测定

5.颗粒物浓度：粒径≥0.1μm的颗粒数≤1个/L

检测范围

1.半导体制造用高纯气体：氩气(Ar)、氮气(N₂)等电子级气体

2.医疗用高纯气体：医用氧气(O₂)、麻醉气体(Xe)等

3.特种工艺气体：硅烷(SiH₄)、氨气(NH₃)等高危气体

4.电子工业保护气：CVD工艺用H₂/N₂混合气

5.科研用超纯气体：同步辐射光源用He/Ne混合气

检测方法

1.ASTMD1945-14：气相色谱法测定烃类杂质

2.ISO13443:2021：激光光谱法测量水分及氧含量

3.GB/T6285-2016：电化学传感器法测微量氧

4.ASTMF313-09：傅里叶红外光谱法分析酸性气体

5.GB/T8979-2008：粒子计数器法测定颗粒物浓度

检测设备

1.Agilent7890B气相色谱仪：配备TCD/FID双检测器，分辨率0.01ppm

2.SiemensMaxumII工业色谱仪：在线监测系统响应时间＜30s

3.AMETEK5100氧分析仪：电化学原理测量范围0-1000ppm

4.HORIBAVA-3000露点仪：镜面冷却法精度0.1℃

5.TSI3889粒子计数器：0.1μm粒径检出限5%误差

6.ThermoFisherISQ7000质谱仪：质量范围1-1000amu，灵敏度1pptv

7.BrukerVERTEX80v红外光谱仪：光谱分辨率0.08cm⁻

8.MKSMultiGas™2030分析仪：四通道激光光谱同步测量

9.ShimadzuGC-2030ATFPD：硫化物专用检测器灵敏度0.01ppb

10.INFICONHAPSITEER便携式GC/MS：现场快速筛查系统

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"高纯气体检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。