检测项目

1.光谱响应范围：测量900-1700nm波段透射/反射率曲线偏差≤2%

2.空间分辨率：采用USAF1951分辨率靶标测试≥50lp/mm

3.信噪比（SNR）：在1550nm波长下动态范围≥60dB

4.涂层厚度均匀性：多点测量厚度公差0.5μm

5.热稳定性：85℃/85%RH环境试验后光谱偏移量≤3nm

检测范围

1.光学薄膜：包括增透膜、分光膜等镀膜元件

2.半导体材料：InGaAs探测器晶圆、量子阱结构器件

3.光伏组件：钙钛矿太阳能电池功能层

4.生物医学样本：组织切片近红外荧光标记物

5.文物保护材料：古画修复用红外透射基底

检测方法

ASTME275-08描述近红外光谱仪器性能验证规程

ISO9022-11:2015光学系统环境试验方法

GB/T26331-2010光学薄膜元件通用规范

GB/T33253-2016短波红外成像器件测试方法

ISO21254-1:2011激光损伤阈值测量标准

检测设备

1.ThermoScientificNicoletiS50FTIR光谱仪：波长范围0.78-25μm，分辨率0.09cm⁻

2.BrukerHyperion3000显微镜：配备32物镜及MCT探测器

3.AgilentCary7000全能型分光光度计：支持0.175-26μm全波段测量

4.OceanInsightFX系列近红外光谱仪：900-2500nm波长覆盖

5.EdmundOpticsEO-TEST靶标系统：含USAF1951/NBS1963A标准靶

6.FilmetricsF40薄膜分析仪：厚度测量精度0.1nm

7.HamamatsuC12741-03InGaAs相机：响应波段900-1700nm

8.NewportOrielSol3A太阳模拟器：符合IEC60904-9AAA级标准

9.ZeissAxioImager.M2m金相显微镜：搭配ECEpiplan物镜组

10.KeysightB2901A精密源表：最小电流分辨率10fA