检测项目

1. 表面粗糙度：Ra≤0.02μm（轮廓算术平均偏差）

2. 平面度误差：λ/10@632.8nm（峰谷值）

3. 反射率均匀性：±1.5%（400-1100nm波段）

4. 热变形系数：≤0.8×10⁻⁶/℃（20-200℃温变）

5. 镀膜附着力：5B级（ASTM D3359划格法）

检测范围

1. 熔融石英基偏转板（JGS1/JGS2/JGS3系列）

2. 硅基碳化硅复合材料偏转板

3. 金属镀膜铝基偏转板（Al+MgF₂复合镀层）

4. 金刚石车削铜合金偏转板

5. 高能激光用钨钼合金偏转板

检测方法

1. ASTM E903-20：采用积分球光谱仪测定反射率特性

2. ISO 10110-5:2015：光学元件表面缺陷等级评定

3. GB/T 13323-2009：激光平面干涉仪测量平面度误差

4. GB/T 29558-2013：白光干涉法表面粗糙度测试

5. ISO 9022-11:2015：环境试验中的热循环测试规程

检测设备

1. Zygo Verifire MST干涉仪：平面度及面形精度测量（λ/20重复精度）

2. Bruker ContourGT-X3白光干涉仪：三维表面粗糙度分析（0.1nm垂直分辨率）

3. PerkinElmer Lambda1050+积分球附件：200-2500nm波段反射率测试

4. Mitutoyo SJ-410表面粗糙度仪：接触式Ra/Rz参数测量（16μm量程）

5. Instron 5967万能材料试验机：镀膜附着力定量测试（0.5%示值精度）

6. Thermo Scientific CMD500环境试验箱：-70℃~300℃热变形测试

7. Olympus LEXT OLS5000激光共聚焦显微镜：微区缺陷分析（120nm横向分辨率）

8. Keysight N9918A矢量网络分析仪：微波段反射相位特性测试

9. Optikos LensCheck™ MTF测量系统：动态光束偏转精度验证

10. Malvern Panalytical Empyrean X射线衍射仪：镀膜晶体结构分析