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单晶金刚石检测

  • 原创官网
  • 2025-04-02 10:47:56
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单晶金刚石检测概述:单晶金刚石检测是评估其物理性能与品质的关键环节,涵盖晶体完整性、杂质含量及力学特性等核心指标。通过标准化方法对缺陷密度、热导率、光学透过率等参数进行量化分析,确保材料满足半导体制造、超精密加工等领域的技术要求。本文系统阐述检测项目、方法及设备选型要点。


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注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师。

☌ 询价

检测项目

1. 晶体缺陷密度:采用X射线形貌法测定位错密度(<100 cm⁻²)与包裹体分布

2. 杂质元素含量:通过二次离子质谱(SIMS)检测氮(<1 ppm)、硼(<0.1 ppm)等掺杂浓度

3. 维氏硬度:在2000 gf载荷下测试(≥10000 HV)

4. 热导率:室温下激光闪射法测量(>2000 W/m·K)

5. 光学性能:紫外-可见分光光度计测定200-2500 nm波段透过率(>70%@10.6 μm)

检测范围

1. CVD法生长的高纯单晶金刚石衬底(尺寸≤Φ100 mm)

2. 高压高温(HPHT)合成工业级单晶金刚石颗粒(20/30目-400/500目)

3. 金刚石窗口片(厚度0.3-3 mm)与散热基板(4×4 mm²-10×10 mm²)

4. 单晶金刚石刀具切削刃口(圆弧半径≤50 nm)

5. 辐射探测器用低缺陷单晶金刚石薄膜(厚度10-500 μm)

检测方法

1. ASTM E1426-14:X射线衍射法定量表征晶体取向偏差(<0.1°)

2. ISO 20341:2017:显微拉曼光谱法分析sp³键合比例(>99%)

3. GB/T 3284-2015:电感耦合等离子体质谱法测定金属杂质总量(<5 ppb)

4. GB/T 4340.1-2009:显微硬度计法测试各向异性硬度分布

5. ISO 22007-4:2017:瞬态平面热源法测定各向异性热扩散系数

检测设备

1. PANalytical X'Pert3 MRD X射线衍射仪:全自动晶体取向与缺陷分析系统

2. HORIBA LabRAM HR Evolution拉曼光谱仪:532 nm激光器搭配100×物镜(空间分辨率<1 μm)

3. Shimadzu HMV-G21ST显微硬度计:最大载荷2 kgf,数字图像处理系统

4. Netzsch LFA 467 HyperFlash激光导热仪:温度范围-120~500℃,测试精度±3%

5. Bruker Dimension Icon原子力显微镜:ScanAsyst模式表面粗糙度测量(Ra<0.1 nm)

6. Thermo Scientific iCAP RQ ICP-MS:检出限达ppt级的多元素同步分析系统

7. Zeiss Axio Imager.M2m金相显微镜:微分干涉对比(DIC)观察亚表面缺陷

8. Agilent Cary 7000紫外可见近红外分光光度计:积分球附件实现全波段透过率测试

9. Oxford Instruments Symmetry EBSD系统:电子背散射衍射晶体取向成像

10. Ulvac PHI 5000 VersaProbe III XPS:单色化Al Kα射线源表面化学态分析

北检(北京)检测技术研究院【简称:北检院】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

  以上是与单晶金刚石检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。

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