激光微计检测

检测项目

1. 表面粗糙度测量：Ra 0.01-10μm范围，横向分辨率≤0.1μm

2. 三维形貌重构：Z轴分辨率0.5nm，扫描面积100×100mm²

3. 薄膜厚度测定：0.1-500μm量程，绝对误差±0.05%

4. 微结构尺寸分析：特征尺寸1-1000μm，重复性≤0.2μm

5. 缺陷深度量化：裂纹/孔洞深度0.5-200μm，置信度≥95%

检测范围

1. 金属材料：钛合金精密零件表面完整性评估

2. 半导体晶圆：光刻胶层厚度与刻蚀深度测量

3. 高分子薄膜：锂电池隔膜孔隙率与厚度均匀性分析

4. 陶瓷基复合材料：热障涂层界面结合状态检测

5. 光学元件：非球面透镜面形误差与亚表面损伤评估

检测方法

1. ASTM E2544-11a：激光扫描共聚焦显微镜法测定表面粗糙度

2. ISO 25178-602：非接触式三维表面纹理测量规范

3. GB/T 34879-2017：微纳米尺度薄膜厚度激光干涉测量方法

4. ISO 10360-13：坐标测量系统激光扫描性能验证标准

5. GB/T 39489-2020：陶瓷涂层界面缺陷激光超声检测技术规范

检测设备

1. Keyence VK-X3000系列：3D激光显微镜，最大放大倍数15000×

2. Bruker ContourGT-X3：白光干涉仪，垂直分辨率0.1nm

3. Olympus LEXT OLS5000：激光共聚焦显微镜，405nm波长激光源

4. Zygo NewView9000：相移干涉仪，最大扫描速率200Hz

5. Mitutoyo LSM-12000：激光位移传感器系统，线性度±0.02%F.S.

6. Taylor Hobson CCI HD：非接触式三维轮廓仪，横向采样间距10nm

7. Polytec MSA-600：微系统分析仪，振动测量带宽25MHz

8. Sensofar S neox：多模式光学轮廓仪，支持PSI/VSI技术

9. Nikon Eclipse L200N：激光共聚焦系统集成金相分析模块

10. Zeiss Smartproof 5：共聚焦显微镜搭配智能拼接算法

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"激光微计检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。