检测项目

1. 条纹间距精度：测量相邻条纹中心距偏差（±0.5μm）

2. 对比度均匀性：全视场亮度差异不超过10%

3. 相位畸变率：局部相位偏移量≤λ/20（λ=632.8nm）

4. 动态稳定性：30分钟内条纹漂移量＜0.2个条纹宽度

5. 表面曲率匹配度：参考面与待测面曲率偏差≤0.01D

检测范围

1. 光学玻璃元件（透镜、棱镜等）表面面形误差

2. 聚合物薄膜（PET/PI）厚度均匀性及应力分布

3. 金属表面涂层（电镀层/喷涂层）结合强度评估

4. 半导体晶圆（硅片/砷化镓）平面度与翘曲度

5. 复合材料层压板（CFRP/GFRP）内部缺陷定位

检测方法

ASTM E903-20《材料光谱反射率标准测试方法》条纹对比度量化分析

ISO 10110-5:2015《光学元件表面缺陷公差规范》条纹畸变判定准则

GB/T 1800.3-2020《产品几何技术规范》曲率匹配度计算方法

ISO 14999-4:2015《光学元件干涉测量》相位解包裹技术要求

GB/T 34879-2017《微纳米表面结构测量》条纹间距校准规程

检测设备

1. Zygo Verifire XP激光干涉仪：波长632.8nm，分辨率0.1nm，面形精度λ/100

2. Veeco NT9800白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，横向分辨率1μm

3. Olympus LEXT OLS5000激光共聚焦显微镜：最大视场10mm×10mm

4. Keysight 5530动态校准系统：频率响应范围0-500Hz

5. Mitutoyo FH-100影像测量仪：XYZ轴精度±(1.5+L/100)μm

6. Polytec MSA-600微系统分析仪：振动测量带宽100MHz

7. Taylor Hobson Talysurf CCI非接触轮廓仪：纵向分辨率0.01Å

8. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪：最大扫描面积200mm×200mm

9. Renishaw XL-80激光干涉系统：线性测量精度±0.5ppm

10. Nikon NEXIV VMZ-S2520视频测量机：配备20倍物镜及环形LED光源

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与干涉条纹花样检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。