检测项目

1. 纯度分析：采用气相色谱法测定SeF₆主成分含量（≥99.9%）

2. 水分含量：通过露点法测定H₂O残留量（≤5 ppm）

3. 酸度测试：电位滴定法测定HF等酸性杂质（≤0.1%）

4. 金属杂质：ICP-MS检测Fe、Cu等金属离子（≤50 ppb）

5. 气体成分分析：FTIR光谱法测定CO₂、SF₆等伴生气体（≤0.05%）

6. 热稳定性：差示扫描量热仪测定分解温度（≥200℃）

检测范围

1. 电子工业用高纯SeF₆气体（纯度≥99.99%）

2. 光学镀膜工艺中的反应气体原料

3. 特种气体生产企业的成品质量验证

4. 化工合成中间体的杂质控制

5. 环境监测中的工业废气组分分析

6. 科研机构的新型材料研发样品

检测方法

1. ASTM E260-96(2021)：气相色谱法测定氟化物纯度

2. ISO 12963:2017：FTIR光谱法进行气体成分分析

3. GB/T 5832.1-2016：电解法测定微量水分

4. GB/T 23947.3-2020：电感耦合等离子体质谱法测定金属杂质

5. ASTM D6806-02(2020)：露点法快速测定气体湿度

6. ISO 18473-4:2018：高温热重分析法测试热稳定性

检测设备

1. Agilent 7890B气相色谱仪：配备FID检测器进行主成分分析

2. LGR-ICOS ETG-300水分分析仪：精度达±0.1 ppm的露点测量系统

3. Thermo iCAP RQ ICP-MS：检出限低至0.01 ppb的金属元素分析仪

4. Bruker TENSOR II FTIR光谱仪：配备10 m长光程气体池的定量分析系统

5. Mettler Toledo TGA/DSC3+：同步热分析仪测量分解温度与热稳定性

6. Metrohm 905 Titrando：自动电位滴定仪测定酸性杂质含量

7. AMETEK ProStat-CV：高精度气体采样与预处理装置

8. HORIBA ST-300气体稀释系统：支持ppb级标准气体制备

9. INFICON HAPSITE ER便携式GC/MS：现场快速筛查应急检测设备

10. VICI Valco六通阀进样系统：实现自动化样品切换与重复测试