检测项目
1.表面粗糙度Ra值：算术平均偏差（0.1-25μm）
2.微观不平度十点高度Rz值（1-100μm）
3.均方根粗糙度Rq值（0.05-30μm）
4.波纹度Wt值（10-1000μm）
5.轮廓最大高度Rt值（5-200μm）
检测范围
1.金属加工件（车削/铣削/磨削表面）
2.塑料注塑成型件（模具复制表面）
3.陶瓷烧结材料（微孔结构表面）
4.复合材料层压板（纤维裸露表面）
5.精密光学元件（抛光/镀膜表面）
检测方法
1.接触式轮廓法：ISO4287/4288、GB/T3505-2009
2.非接触白光干涉法：ASTMD7127-17
3.激光共聚焦显微术：ISO25178-607
4.原子力显微测量：GB/T31227-2014
5.三维形貌重构法：ASMEB46.1-2019
检测设备
1.TaylorHobsonFormTalysurfPGI3D：三维轮廓测量（Ra/Rz/Rt）
2.MitutoyoSurftestSJ-410：接触式粗糙度仪（Ra0.01-50μm）
3.BrukerContourGT-K1：白光干涉仪（垂直分辨率0.1nm）
4.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜（12000放大倍率）
5.ZygoNewView9000：相移干涉仪（0.1RMS噪声级）
6.KeyenceVK-X3000：3D激光显微系统（405nm波长激光）
7.JenoptikWaveline：多传感器测量系统（触针+光学复合）
8.Hommel-EtamicT8000：移动式粗糙度仪（符合ISO3274标准）
9.NanosurfFlexAFM：原子力显微镜（Z轴分辨率0.1nm）
10.AliconaInfiniteFocusG5：焦点变化技术（20nm垂直分辨率）