检测项目
1.表面电势测量：范围10kV，分辨率0.1V
2.电荷密度分析：量程0.1-1000μC/m，误差≤2%
3.介电强度测试：电压范围1kV/mm至50kV/mm
4.极化率测定：精度10^-30至10^-24Cm/V
5.电荷衰减时间：时间窗口1秒至3600秒
检测范围
1.半导体材料：硅片、GaN晶圆等电子级晶体
2.压电陶瓷：PZT、石英等机电转换材料
3.高分子薄膜：PET绝缘膜、PTFE驻极体
4.生物医学材料：骨植入物羟基磷灰石涂层
5.储能器件：锂离子电池隔膜陶瓷涂层
检测方法
1.ASTMD4470-2018介电强度测试标准
2.ISO18652:2015压电材料表面电势分析方法
3.GB/T16840-2021绝缘材料表面电荷测试规范
4.IEC62631-3-1:2016介电性能通用试验方法
5.GB/T31838.4-2021固体绝缘材料体积电阻率测定
检测设备
1.Keithley6517B静电计：分辨率0.1fA/0.1μV
2.TreKModel344电荷衰减测试仪：时间常数测量精度0.5%
3.Agilent4294A阻抗分析仪：频率范围40Hz至110MHz
4.MTSCriterion力学试验机：压电系数d33测量模块
5.MalvernZetasizerNanoZSP：Zeta电位分析精度0.3mV
6.KeysightB1505A功率器件分析仪：最大电压10kV
7.HIOKIIM3570阻抗分析仪：相位精度0.05
8.ThermoFisherScientificESCALABXi+：表面电势成像分辨率5μm
9.OmicronLabBLS550极化率测试系统：电场强度0-100kV/cm
10.HakutoChargeViewerCV-1000：非接触式电荷分布成像系统