检测项目

1.电阻率测量：量程10^-6-10³Ωcm，分辨率0.1%FS

2.电导率分析：覆盖10²-10⁷S/m范围

3.接触电阻测试：最小可测0.1mΩ

4.IV特性曲线绘制：电压范围100V，电流精度0.05%

5.温度系数测定：-50℃至+300℃温控环境

6.表面漏电流检测：灵敏度达1pA

7.霍尔效应验证：磁场强度0-2T可调

检测范围

1.金属材料：铜箔、铝合金导线、贵金属触点

2.半导体材料：硅晶圆、砷化镓基板、碳化硅外延层

3.薄膜材料：ITO导电膜、ZnO压敏涂层

4.复合材料：碳纤维增强塑料、金属陶瓷基板

5.高分子材料：导电聚合物PEDOT:PSS

检测方法

ASTMF84-2020《薄膜电阻测量规程》

ISO3915:2021《塑料导电性能测定》

GB/T1551-2021《硅单晶电阻率测试方法》

IEC60404-13:2018《软磁材料直流特性测量》

JISH0602:2019《半导体晶片电阻率测试》

GB/T24521-2020《柔性显示用透明导电膜测试规范》

检测设备

1.Keithley2450源表：四象限电压/电流输出

2.KeysightB2902A精密源表：1fA分辨率

3.LakeShoreCRX-VF低温探针台：支持4K超低温测试

4.CascadeSummit12000B-M探针台：12英寸晶圆兼容

5.Agilent4156C参数分析仪：多通道并行测试

6.TektronixPA300功率分析仪：宽频阻抗测量

7.HiokiRM3545微电阻计：四端子法消除接触误差

8.JanisST-500变温样品架：温控精度0.1K

9.SemishareECP150电磁屏蔽探针箱：60dB噪声抑制

10.OAIModel3060光电流测试系统：集成532nm激光源