检测项目
1.表面粗糙度：Ra0.05-6.3μm|Rz0.4-25μm|Rq0.06-6.5μm
2.轮廓精度：直线度误差≤1.5μm/m|圆度偏差≤2μm
3.波纹度分析：波长范围0.08-8mm|幅值分辨率0.01μm
4.台阶高度测量：量程0.1-500μm|重复性0.05μm
5.微观形貌特征：横向分辨率0.5μm|Z轴分辨率3nm
检测范围
1.金属材料：铝合金轧制件/不锈钢精密铸件/钛合金切削面
2.光学元件：透镜曲面/棱镜折射面/反射镜镀膜层
3.电子器件：PCB焊盘/芯片封装基板/柔性电路板
4.高分子材料：注塑件分型面/薄膜涂层/橡胶密封面
5.陶瓷基材：氮化硅轴承球面/氧化锆牙冠咬合面
检测方法
ASTME2544-11a：激光扫描表面形貌测量标准规程
ISO25178-602：非接触式轮廓仪计量特性规范
GB/T6062-2009：表面粗糙度比较样块校准规范
GB/T10610-2009：产品几何技术规范表面结构测量规则
ISO4287:1997：表面粗糙度术语定义及参数体系
检测设备
1.KeyenceLJ-V7000：最大量程30mm|Z轴分辨率10nm
2.MitakaPF-60：多波长干涉系统|重复精度0.02μm
3.TaylorHobsonCCIHD：白光干涉模式|横向分辨率0.3μm
4.ZeGagePlus：12mm12mm视场|25601920像素CCD
5.BrukerContourElite：20X物镜配置|垂直扫描速度50μm/s
6.OlympusLEXTOLS5000：405nm激光源|XYZ自动平台
7.SensofarSneox：多模式混合传感器|ISO25178认证系统
8.NanoveaPS50：双传感器集成设计|500mm/s扫描速度
9.AliconaInfiniteFocusG5：轴向色差原理|100X物镜配置
10.ZygoNewView9000：Mirau干涉架构|<λ/1000重复精度