检测项目
1.标称长度误差:测量范围0.1-3000mm,允许偏差(0.02+0.05L)μm(L为米数)
2.分度间隔均匀性:相邻刻度间距偏差≤1.5μm/100mm
3.刻线宽度一致性:线宽公差0.8μm(基准线宽20-100μm)
4.累积误差:全量程累积偏差≤(2+3L)μm(L为米数)
5.温度稳定性:20℃1℃环境下的热膨胀系数≤1.210⁻⁶/℃
检测范围
1.金属标尺:不锈钢/铝合金材质直尺、卷尺
2.玻璃刻度板:光学仪器用分划板、光栅尺
3.工程塑料量具:ABS/PVC材质测量卡规
4.陶瓷基标定块:氧化锆/碳化硅材质标准量块
5.复合材料量具:碳纤维增强聚合物材质精密导轨
检测方法
1.激光干涉法:依据ISO8512-3:2018进行纳米级动态测量
2.影像测量法:执行GB/T24762-2020数字图像处理规程
3.接触式扫描:采用ASTME2840-13标准进行三维轮廓分析
4.白光共聚焦:参照ISO25178-604:2013非接触式表面测量
5.气浮导轨法:按GB/T11336-2021直线度误差评定规范
检测设备
1.MitutoyoLH-600三坐标测量机:空间精度(1.9+3L/1000)μm
2.KeyenceLS-9000系列激光测长仪:分辨率0.001μm
3.ZeissO-INSPECT322复合式测量系统:配备VASTXTR黄金传感器
4.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂:空间精度28μm
5.NikonNEXIVVMZ-S656T视频测量仪:光学放大倍率35X-220X
6.RenishawXL-80激光干涉仪:线性测量精度0.5ppm
7.StarrettTrimosV5高度规:垂直分辨率0.1μm
8.MahrFederalMillimarC1216电感测微仪:量程500μm
9.OlympusDSX1000数码显微镜:23倍超景深观察
10.WylerZerotronic电子水平仪:角度分辨率0.001