检测项目

1.倾斜角度精度：测量范围15，分辨率0.001，误差≤0.01

2.线性度误差：全量程内偏差≤0.5%，采用多点标定法验证

3.重复性误差：连续10次测量标准差≤0.003

4.温度漂移特性：-20℃~60℃环境下输出变化量≤0.02/℃

5.动态响应特性：阶跃响应时间≤50ms，频率带宽≥100Hz

检测范围

1.光学薄膜：包括AR镀膜、分光膜等表面平整度≤λ/10的元件

2.半导体晶圆：直径300mm硅片的局部倾斜量测量

3.精密机械部件：航空发动机叶片安装角误差检测

4.感光涂层材料：光刻胶涂布均匀性评估

5.医疗成像设备：CT探测器模块装配角度校准

检测方法

1.ASTME259-2018：标准测试方法用于几何光学特性验证

2.ISO10110-5:2015：光学元件表面形貌评估规范

3.GB/T9246-2021：角度测量仪器校准规程

4.ISO14978:2018：几何产品规范(GPS)通用测量设备认证

5.GB/T16857-2016：坐标测量机性能评价方法扩展应用

检测设备

1.ZYGOVerifireMST：激光干涉仪，波长632.8nm，精度λ/200

2.KeyenceLK-G5000：激光位移传感器，采样频率392kHz

3.RenishawXL-80：激光跟踪仪，测距精度0.5ppm

4.MitutoyoCrysta-ApexS：三坐标测量机，空间精度(1.9+3L/1000)μm

5.PolytecPSV-500：扫描式激光多普勒测振仪，位移分辨率0.1pm

6.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜，Z轴分辨率1nm

7.HexagonAbsoluteArm7-Axis：便携式测量臂，单点重复性15μm

8.NikonNEXIVVM-300S：视频测量系统，放大倍率3500X

9.Agilent5530DynamicCalibrator：动态角度校准系统，频率范围0-500Hz

10.SIOSSP-2000：纳米定位平台，定位分辨率0.1nm