检测项目
1.电导率测试:测量范围10-8-103S/cm,精度0.5%
2.载流子浓度分析:涵盖1012-1020cm-3量级
3.霍尔效应测试:磁场强度0.1-1.5T,温度范围77-400K
4.迁移率测定:电子迁移率50-15000cm/(Vs),空穴迁移率10-4500cm/(Vs)
5.禁带宽度测量:光谱范围200-2500nm,分辨率0.01eV
检测范围
1.有机半导体材料:聚噻吩衍生物、酞菁类化合物
2.无机半导体材料:硅(Si)、锗(Ge)、砷化镓(GaAs)
3.纳米半导体材料:量子点、碳纳米管、二维过渡金属硫化物
4.半导体器件:场效应晶体管(FET)、光电二极管(PIN)
5.薄膜材料:氧化铟锡(ITO)、氮化镓(GaN)外延层
检测方法
1.ASTMF76-08(2020):半导体材料电学特性标准测试规程
2.ISO14707:2015表面化学分析-辉光放电发射光谱法
3.GB/T1551-2009硅单晶电阻率测定方法
4.GB/T1552-2022硅单晶霍尔系数测试方法
5.IEC60749-25:2021半导体器件机械与气候试验方法
检测设备
1.Keithley4200A-SCS参数分析仪:支持DC-IV/CV/脉冲测试
2.Agilent4155C半导体分析仪:I-V/C-V曲线测量精度0.1%
3.LakeShoreCRX-VF低温探针台:温度控制范围4K-675K
4.BrukerD8ADVANCEX射线衍射仪:角度分辨率0.0001
5.HoribaLabRAMHREvolution拉曼光谱仪:空间分辨率0.5μm
6.OxfordInstrumentsMicrostatHe低温恒温器:磁场强度1T
7.KeysightB1500A器件分析仪:最大电压200V/电流1A
8.ThermoScientificESCALABXi+XPS系统:能量分辨率<0.45eV
9.JandelRM3000测试系统:四探针电阻率测量精度0.25%
10.VeecoDimensionIcon原子力显微镜:扫描精度0.1nm