电熔石英检测

检测项目

1.化学成分分析：SiO₂纯度≥99.9%，Al₂O₃≤0.01%，Fe₂O₃≤0.0005%，Na₂O+K₂O≤0.002%

2.热膨胀系数测试：20-1000℃范围内α≤5.510⁻⁷/℃，波动值≤0.310⁻⁷/℃

3.光学性能检测：紫外透过率（200nm）≥85%，红外吸收峰（2.7μm）≤3dB/cm

4.羟基含量测定：OH⁻浓度分级控制（TypeI≤10ppm,TypeII≤150ppm,TypeIII≥150ppm）

5.密度与气孔率：表观密度≥2.20g/cm，闭口气孔率≤0.1%，显气孔率≤0.05%

检测范围

1.半导体级单晶硅生长用石英坩埚

2.深紫外光刻机光学系统石英透镜基材

3.光伏行业多晶硅铸锭用方形石英坩埚

4.高功率激光设备用石英窗口片

5.特种玻璃成型用石英模具组件

检测方法

ASTME228-17《线性热膨胀系数测试标准方法》

ISO14703:2022《精细陶瓷-表面缺陷定量分析方法》

GB/T12442-2021《石英玻璃羟基含量测定方法》

ISO10136-7:2016《玻璃化学分析-ICP-OES法测定微量元素》

GB/T25915.1-2021《洁净室及相关受控环境-粒子浓度监测》

检测设备

1.X射线荧光光谱仪（XRF-2000）：实现ppm级元素定量分析

2.高温热膨胀仪（TMA402F3）：测量20-1600℃线性膨胀行为

3.FTIR光谱仪（NicoletiS50）：检测2-25μm波段红外吸收特性

4.激光粒度分析仪（Mastersizer3000）：表征原料粉末粒径分布D50=50-150μm

5.UV-Vis分光光度计（Lambda950）：测量190-3300nm透射光谱曲线

6.氦气比重计（AccuPycII1340）：测定真密度精度0.02%

7.扫描电镜（SEMSU5000）：表面缺陷分辨率达1nm

8.ICP-OES光谱仪（iCAPPRO）：检出限低至ppb级金属杂质分析

9.激光诱导击穿光谱仪（LIBSTracer）：实现原位快速成分筛查

10.X射线衍射仪（XRDSmartLab）：晶体相含量分析精度0.1%

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"电熔石英检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。