检测项目

1.表面粗糙度测量：Ra（0.01-10μm）、Rz（0.1-100μm）、Rq（0.02-12μm）

2.波纹度分析：Wt（0.1-100μm）、Wa（0.05-50μm）

3.轮廓偏差检测：Pt（1-500μm）、Pz（5-1000μm）

4.微观形貌重建：Z轴分辨率≤3nm，XY平面精度0.5μm

5.缺陷识别能力：最小可检缺陷尺寸≥0.5μm

检测范围

1.金属材料：铝合金轧制件（AA6061）、不锈钢精密铸件（SUS304）、钛合金切削件（Ti6Al4V）

2.光学元件：非球面透镜（曲率半径≥5mm）、棱镜角度误差（≤30"）

3.电子元件：半导体晶圆（直径≤300mm）、FPC柔性电路板（线宽≥15μm）

4.塑料制品：注塑成型件（收缩率≤0.8%）、光学级PMMA板材

5.陶瓷材料：氮化硅轴承球（圆度≤0.1μm）、氧化锆齿科修复体

检测方法

ASTME1817-08(2021)：白光干涉法表面粗糙度测量规范

ISO4288:1996：几何产品技术规范(GPS)表面结构:轮廓法测量规则

GB/T3505-2021：产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法术语定义及表面结构参数

ISO25178-602:2019：非接触式共聚焦显微镜测量表面形貌

GB/T29531-2013：精密加工表面多光束干涉测量方法

检测设备

1.ZygoNewView9000：非接触式三维表面轮廓仪，最大测量范围25mm25mm10mm

2.BrukerContourGT-K：白光干涉显微镜，垂直分辨率0.1nm

3.KeyenceVR-6000：高速三维形状测量系统，扫描速度30000点/秒

4.OlympusOLS5000：激光共聚焦显微镜，物镜放大倍率20~150

5.TaylorHobsonCCIHD：相干扫描干涉仪，Z轴重复性≤0.03nm

6.MitutoyoSJ-500：表面粗糙度轮廓仪，最大行程150mm

7.SensofarSneox：3D光学轮廓仪，支持PSI/VSI/HDRI多模式测量

8.NikonNEXIVVMZ-S4540：多传感器测量系统，集成激光与白光传感器

9.AliconaInfiniteFocusG5：变焦光学三维测量仪，垂直分辨率10nm

10.MarSurfCMExplorer：接触/非接触复合式表面测量仪