检测项目

1.气体纯度测定：He≥99.999%、Ne≥99.995%、Ar≥99.9995%、Kr/Xe≥99.999%（体积分数）

2.同位素丰度分析：He/⁴He(0.000137%)、⁰Ne/Ne(9.800.08)、⁴⁰Ar/⁶Ar(295.50.5)

3.杂质气体含量：O₂≤0.5ppm、N₂≤1.0ppm、H₂O≤0.1ppm（露点-76℃）

4.放射性核素检测：Rn活度≤0.1Bq/L（GB18871-2002）

5.物理性质测试：密度（0.1786g/LHe）、导热系数（0.1513W/mKAr）、电离电位（15.76eVXe）

检测范围

1.半导体制造用高纯气体：光刻气（KrF/ArF激光混合气）、离子注入气（BF₃/PH₃载气）

2.特种焊接保护气体：TIG焊用Ar-He混合气（ISO14175:2008）

3.医用惰性气体制剂：MRI超导磁体冷却液（液氦）、微泡造影剂（全氟丙烷-氙气混合）

4.核工业材料：反应堆中子慢化剂（高压氙气）、辐射探测器填充气（Kr-85示踪剂）

5.光学器件封装气：高功率激光器谐振腔净化气（Ne-He混合比例1:4）

检测方法

1.ASTMD1945-14：气相色谱法测定烃类杂质含量（检出限0.1ppm）

2.ISO6142-1:2015：动态稀释法制备标准气体混合物

3.GB/T5832.3-2011：露点法测定水分含量（-80℃~+20℃量程）

4.ASTME2677-14：质谱法分析同位素比值（分辨率≥30000）

5.GB/T8984-2008：非色散红外吸收法测定CO/CO₂含量

6.ISO19238:2014：α能谱法测量氡气放射性活度

检测设备

1.Agilent5977BGC-MS：配备TCD/FID双检测器，实现ppb级杂质分析

2.ThermoScientificTRACE1310气相色谱仪：专用PLOT分子筛色谱柱分离He/Ne/Ar

3.LGR-ICOSLosGatosResearch超灵敏激光光谱仪：测量Xe同位素丰度（精度0.01%）

4.AlphaGUARDPQ2000Pro氡监测仪：集成脉冲电离室与半导体探测器

5.MKSSpectraMaxIIFTIR：中红外光谱法快速测定含氟化合物杂质

6.VICIValco高压气体采样阀：耐压15MPa的六通切换进样系统

7.AMETEK5100N露点仪：电容式传感器测量范围-100~+20℃

8.PerkinElmerNexION350DICP-MS：高分辨模式分析Kr/Xe同位素

9.INFICONHAPSITEER便携式气质联用仪：现场快速筛查挥发性杂质

10.BronkhorstEL-FLOWSelect质量流量控制器：精确控制标准气体稀释比