检测项目

1.纯度分析：测定He/Ne/Ar/Kr/Xe主成分含量（99.999%-99.9999%）

2.水分含量：露点法测量H₂O含量（-80℃至-50℃等效值）

3.氧含量：电化学传感器测定O₂浓度（0.1-10ppm量级）

4.痕量杂质：GC-MS联用分析N₂/CO/CO₂等（ppb级检出限）

5.气体密度：振动管密度计测量（精度0.1kg/m）

检测范围

1.半导体制造用超高纯氩气（6N级）

2.金属焊接保护用氦氩混合气

3.激光切割设备专用氪气

4.医疗核磁共振液氦冷却剂

5.航天器密封检漏用氙气示踪剂

检测方法

1.ASTME2603-15(2020)气相色谱法测定惰性气体纯度

2.ISO8573-5:2021露点法测定压缩气体含水量

3.GB/T5832.2-2016电解法测定气体中微量氧

4.ASTMD7941-21脉冲放电氦离子化检测器应用规范

5.GB/T8984-2008气体中一氧化碳二氧化碳测定方法

检测设备

1.Agilent7890B气相色谱仪（配备TCD/FID双检测器）

2.MichellS8000精密露点仪（测量范围-100~+20℃dp）

3.AMIO2-TRACE氧分析仪（分辨率0.01ppm）

4.INFICONHLD1000氦质谱检漏仪（灵敏度110⁻mbarL/s）

5.AntonPaarDMA4200密度计（温控精度0.01℃）

6.ThermoScientificISQ7000GC-MS联用系统（EI源质量范围1-1050amu）

7.VICIValcoG35811六通进样阀（耐压10MPa）

8.MKSMultiGas™2030FTIR分析仪（光谱分辨率0.5cm⁻）

9.DrgerX-am5600便携式气体分析仪（可测He/Ar/Xe等8种气体）

10.BronkhorstEL-FLOW质量流量控制器（精度0.5%RD+0.1%FS）