检测项目
1.覆层厚度测量：采用X射线荧光法（XRF）测定0.5-200μm范围厚度值
2.显微硬度测试：维氏硬度计HV0.01-HV0.5载荷下测定800-2500HV区间硬度
3.结合强度分析：划痕法测试临界载荷≥30N的附着性能
4.孔隙率评估：金相显微镜观测孔隙密度≤5个/cm
5.化学成分分析：EDS能谱仪测定Si含量≥90at%
检测范围
1.金属基材硅化涂层：不锈钢/钛合金表面MoSi₂、WSi₂涂层
2.高温防护涂层：镍基合金表面Ni-Si-B体系涂层
3.半导体器件镀层：硅晶圆表面TiSi₂、CoSi₂接触层
4.复合材料界面层：C/C-SiC复合材料SiC过渡层
5.医疗器械镀膜：骨科植入物表面Si-DLC复合涂层
检测方法
1.ASTMB487-20《X射线光谱法测量金属镀层厚度》
2.ISO14577-1:2015《仪器化压痕试验测定硬度和材料参数》
3.GB/T8642-2022《热喷涂涂层结合强度试验方法》
4.ISO26423:2020《热障涂层孔隙率测试规程》
5.GB/T17359-2023《微束分析能谱法定量分析通则》
检测设备
1.FischerXDV-SDDX射线测厚仪：分辨率0.01μm
2.Wilson402MVD显微硬度计：最大载荷500gf
3.CSMRevetest划痕测试仪：载荷分辨率0.01N
4.JEOLJSM-IT800扫描电镜：分辨率1nm@15kV
5.BrukerQuantaxEDS能谱系统：元素分析范围B-U
6.OlympusGX53金相显微镜：5000倍光学放大
7.NetzschDIL402C热膨胀仪：温度范围-150~1600℃
8.PARSTAT4000电化学工作站：阻抗频率10μHz-1MHz
9.RigakuSmartLabX射线衍射仪：角度精度0.0001
10.CreaformHandySCAN3D激光轮廓仪：精度0.025mm