硅化覆层检测

检测项目

1.覆层厚度测量：采用X射线荧光法（XRF）测定0.5-200μm范围厚度值

2.显微硬度测试：维氏硬度计HV0.01-HV0.5载荷下测定800-2500HV区间硬度

3.结合强度分析：划痕法测试临界载荷≥30N的附着性能

4.孔隙率评估：金相显微镜观测孔隙密度≤5个/cm

5.化学成分分析：EDS能谱仪测定Si含量≥90at%

检测范围

1.金属基材硅化涂层：不锈钢/钛合金表面MoSi₂、WSi₂涂层

2.高温防护涂层：镍基合金表面Ni-Si-B体系涂层

3.半导体器件镀层：硅晶圆表面TiSi₂、CoSi₂接触层

4.复合材料界面层：C/C-SiC复合材料SiC过渡层

5.医疗器械镀膜：骨科植入物表面Si-DLC复合涂层

检测方法

1.ASTMB487-20《X射线光谱法测量金属镀层厚度》

2.ISO14577-1:2015《仪器化压痕试验测定硬度和材料参数》

3.GB/T8642-2022《热喷涂涂层结合强度试验方法》

4.ISO26423:2020《热障涂层孔隙率测试规程》

5.GB/T17359-2023《微束分析能谱法定量分析通则》

检测设备

1.FischerXDV-SDDX射线测厚仪：分辨率0.01μm

2.Wilson402MVD显微硬度计：最大载荷500gf

3.CSMRevetest划痕测试仪：载荷分辨率0.01N

4.JEOLJSM-IT800扫描电镜：分辨率1nm@15kV

5.BrukerQuantaxEDS能谱系统：元素分析范围B-U

6.OlympusGX53金相显微镜：5000倍光学放大

7.NetzschDIL402C热膨胀仪：温度范围-150~1600℃

8.PARSTAT4000电化学工作站：阻抗频率10μHz-1MHz

9.RigakuSmartLabX射线衍射仪：角度精度0.0001

10.CreaformHandySCAN3D激光轮廓仪：精度0.025mm

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"硅化覆层检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。