检测项目
1.元素成分定量分析：测量范围B~U（原子序数5-92），检出限0.01-0.1wt%，加速电压5-30kV
2.元素面分布分析：空间分辨率≤1μm，最大扫描区域10mm10mm
3.线扫描成分分析：步长精度0.1μm，最大扫描长度5mm
4.氧化物含量测定：相对误差≤2%，适用SiO₂、Al₂O₃等常见氧化物
5.痕量元素检测：最低检出浓度50ppm（WDS模式），束斑直径0.5-50μm
检测范围
1.金属材料：高温合金、不锈钢、铝合金的相组成分析
2.半导体材料：GaAs、SiC晶片的掺杂元素分布表征
3.地质矿物：硅酸盐矿物中主量/微量元素含量测定
4.陶瓷材料：ZrO₂基复合材料相界元素扩散研究
5.环境颗粒物：PM2.5单颗粒物源解析及成分鉴定
检测方法
1.ASTME1508-12：电子探针定量分析标准规程
2.ISO22309:2011：微束分析-能谱法定量分析通则
3.GB/T15244-2020：电子探针定量分析方法通则
4.GB/T17359-2023：电子探针显微分析通用技术条件
5.ISO17470:2014：波谱法点分析技术规范
检测设备
1.JEOLJXA-8230：配备5道WDS光谱仪，元素分析范围B-U
2.ShimadzuEPMA-1720H：搭载全聚焦罗兰圆分光晶体系统
3.CamecaSXFiveFE：场发射电子枪设计，空间分辨率达0.1μm
4.TESCANEPMAProbes：集成EDS/WDS双探测系统
5.HitachiEPMA-8050G：配备高灵敏度气体流式计数器
6.OxfordInstrumentsUltimExtreme：能谱分辨率优于127eV
7.BrukerQUANTAXWDS：全自动多道波谱联用系统
8.AMETEKSPECTROEPMAPro：支持低真空模式样品分析
9.ThermoScientificNORANSystem7：三维元素成像功能模块
10.ZEISSSIGMAEPMA：Gemini电子光学镜筒设计