三甲基镓检测

检测项目

1.主成分纯度：采用气相色谱法测定三甲基镓含量≥99.999%（5N级）

2.金属杂质：ICP-MS测定Fe、Cu、Zn等13种痕量金属元素≤1ppm

3.有机杂质：GC-MS分析烃类副产物总量≤50ppm

4.水分含量：卡尔费休法测定H₂O≤10ppm

5.氯离子：离子色谱法测定Cl⁻≤5ppm

检测范围

1.半导体制造用外延生长材料

2.光伏薄膜沉积前驱体

3.有机金属化合物合成原料

4.高纯化学品质量验证

5.电子特气产品合规性认证

检测方法

1.ASTME2609-22《气相色谱-质谱联用测定挥发性有机物》

2.ISO17294-2:2023《电感耦合等离子体质谱法测定无机元素》

3.GB/T32270-2015《电子工业用气体中痕量水分的测定》

4.GB/T33324-2016《电子级三甲基镓技术要求与测试方法》

5.ISO17034:2016《标准物质生产者能力通用要求》

检测设备

1.Agilent7890B气相色谱仪：主成分定量分析

2.ThermoScientificiCAPRQICP-MS：ppb级金属杂质检测

3.MettlerToledoC30卡尔费休水分仪：微量水测定

4.DionexICS-6000离子色谱系统：阴离子分析

5.ShimadzuGCMS-QP2020NX气质联用仪：有机杂质鉴定

6.Metrohm930CompactICFlex：氯离子专项分析

7.PerkinElmerPinAAcle900T原子吸收光谱仪：特定元素验证

8.BrukerALPHAII傅里叶红外光谱仪：官能团定性分析

9.SartoriusCubisII超微量天平：精密称量控制

10.VICIValco六通阀进样系统：气体样品精确切换

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"三甲基镓检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。