检测项目
1.主成分纯度：采用气相色谱法测定三甲基镓含量≥99.999%（5N级）
2.金属杂质：ICP-MS测定Fe、Cu、Zn等13种痕量金属元素≤1ppm
3.有机杂质：GC-MS分析烃类副产物总量≤50ppm
4.水分含量：卡尔费休法测定H₂O≤10ppm
5.氯离子：离子色谱法测定Cl⁻≤5ppm
检测范围
1.半导体制造用外延生长材料
2.光伏薄膜沉积前驱体
3.有机金属化合物合成原料
4.高纯化学品质量验证
5.电子特气产品合规性认证
检测方法
1.ASTME2609-22《气相色谱-质谱联用测定挥发性有机物》
2.ISO17294-2:2023《电感耦合等离子体质谱法测定无机元素》
3.GB/T32270-2015《电子工业用气体中痕量水分的测定》
4.GB/T33324-2016《电子级三甲基镓技术要求与测试方法》
5.ISO17034:2016《标准物质生产者能力通用要求》
检测设备
1.Agilent7890B气相色谱仪：主成分定量分析
2.ThermoScientificiCAPRQICP-MS：ppb级金属杂质检测
3.MettlerToledoC30卡尔费休水分仪：微量水测定
4.DionexICS-6000离子色谱系统：阴离子分析
5.ShimadzuGCMS-QP2020NX气质联用仪：有机杂质鉴定
6.Metrohm930CompactICFlex：氯离子专项分析
7.PerkinElmerPinAAcle900T原子吸收光谱仪：特定元素验证
8.BrukerALPHAII傅里叶红外光谱仪：官能团定性分析
9.SartoriusCubisII超微量天平：精密称量控制
10.VICIValco六通阀进样系统：气体样品精确切换