检测项目
纯度检测:
- 气体纯度:≥99.999%(ISO6143)
- 组分分析:氩气占比、氦气占比(ASTMD1945)
- 氧气含量:≤1ppm(ASTMD1945)
- 氮气含量:≤5ppm
- 水露点:≤-70°C(ISO8573)
- 水分含量:≤1ppm
- 氢气浓度:≤0.5ppm
- 总烃含量:≤0.5ppm(ASTMD1945)
- 甲烷含量:≤0.1ppm
- 颗粒数:≤100particles/m³(ISO8573)
- 粒径分布:0.3-10μm
- 铁含量:≤0.01ppm(ICP-OES)
- 铜含量:≤0.005ppm
- 放射性核素:符合GB6249
- 无刺激性气味:主观评估标准
- 容器压力:0.5-20MPa
- 流量稳定性:±1%
检测范围
1.高纯氩气:用于半导体蚀刻工艺,重点检测金属杂质残留量和水分露点控制。
2.医用氦气:应用于MRI超导磁体系统,侧重纯度和放射性污染检测。
3.焊接保护气体:氩气基混合气体,检测氧气和氮气残留对焊接质量的影响。
4.照明用氖气:霓虹灯填充介质,关注纯度指标和颜色一致性分析。
5.潜水呼吸气体:氦氧混合气体,重点测定水分含量和杂质气体安全限值。
6.激光用氪气:激光器激活介质,检测杂质气体浓度对光束质量的干扰。
7.六氟化硫绝缘气体:高压电气设备绝缘材料,严格监控纯度和分解产物含量。
8.电子级氙气:平板显示器制造,侧重纯度、颗粒物计数及金属杂质分析。
9.气球填充氦气:娱乐应用气体,重点检测纯度和浮力保持性能。
10.科研实验气体:稀有气体研究样品,全面覆盖所有关键参数检测。
检测方法
国际标准:
- ASTMD1945气相色谱法测定烃类气体组分
- ISO8573压缩空气污染物分类及测量方法
- ISO6143气体分析校准气体混合物制备
- GB/T10410气体分析气相色谱法
- GB/T5274气体分析校准气体混合物制备
- GB6249放射性核素检测标准
检测设备
1.气相色谱仪:Agilent7890B(检测限0.1ppm)
2.质谱仪:ThermoScientificISQ7000(分辨率0.1Da)
3.露点仪:MichellS8000(精度±0.15°C)
4.氧气分析仪:ABBAO2000(测量范围0-1000ppm)
5.湿度分析仪:MichelInstrumentsDG-1(量程-100to20°C露点)
6.粒子计数器:LighthouseSolair3100(粒径0.3-25μm)
7.气体纯度分析仪:SERVOMEX4900(纯度分辨率0.001%)
8.总烃分析仪:TeledyneAnalyticalInstruments4020(检测限0.1ppm)
9.电感耦合等离子体发射光谱仪:PerkinElmerOptima8300(金属检测限0.1ppb)
10.放射性检测仪:BertholdLB124(伽马射线测量精度±2%)
11.压力传感器:OmegaPX409(范围0-100MPa)
12.流量计:BrooksInstrumentGF40(精度±0.5%)
13.气味测试箱:定制设备(感官评估标准化)
14.水分分析仪:GEMMT111(电解法精度±1%)
15.光谱分析仪:通用型号(组分检测波长范围