干涉仪检测

检测项目

1.面形精度检测：波长λ/20（λ=632.8nm），PV值≤0.1μm

2.表面粗糙度分析：Ra0.1-10nm，空间波长0.1-1mm

3.厚度均匀性测量：分辨率0.5μm（厚度范围0.1-50mm）

4.折射率分布测试：Δn210⁻⁵（透明介质）

5.热变形量监测：位移分辨率10nm（温度范围-50℃~300℃）

检测范围

1.光学元件：激光透镜、棱镜、窗口片等熔融石英/氟化钙材质制品

2.半导体晶圆：硅片/砷化镓基板表面平整度与薄膜厚度

3.精密机械部件：航空轴承滚道面、液压阀芯端面

4.MEMS器件：微镜阵列面形一致性

5.镀膜基片：ITO导电膜、AR增透膜层应力分布

检测方法

ASTME284-22《StandardTerminologyforAppearance》表面粗糙度测量规范

ISO10110-5:2015《光学和光子学光学元件和系统制图要求》面形公差标准

GB/T13323-2009《光学零件表面疵病》缺陷等级评定方法

GB/T16857.6-2014《产品几何量技术规范(GPS)坐标测量机的验收检测》三维形貌测试

ISO14999-4:2015《光学元件干涉法测量》相位解算技术要求

检测设备

1.ZygoVerifireMST：动态干涉仪，最大测量口径Φ600mm，重复精度λ/1000

2.TaylorHobsonCCILite：白光干涉仪，垂直分辨率0.01nm

3.MitutoyoSurftestSJ-410：接触式粗糙度仪，探针半径2μm

4.BrukerContourGT-X3：三维光学轮廓仪，横向分辨率0.9μm

5.4DTechnologyPhaseCam6000：动态相移干涉仪，振动抑制＞100Hz

6.Keysight5500ILM：激光干涉测量系统，线性测量范围80m

7.NikonNEXIVVM-300：视频测量机，XYZ轴精度(1.5+L/100)μm

8.RenishawXL-80：激光校准系统，线性精度0.5ppm

9.FisbaμPhaseFPS：光纤相位传感器，最小可测曲率半径0.5mm

10.TriopticsOptiCentricDual：双光路中心偏测量仪，角度分辨率1"

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"干涉仪检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。