检测项目
1.面形精度检测：波长λ/20（λ=632.8nm），PV值≤0.1μm
2.表面粗糙度分析：Ra0.1-10nm，空间波长0.1-1mm
3.厚度均匀性测量：分辨率0.5μm（厚度范围0.1-50mm）
4.折射率分布测试：Δn210⁻⁵（透明介质）
5.热变形量监测：位移分辨率10nm（温度范围-50℃~300℃）
检测范围
1.光学元件：激光透镜、棱镜、窗口片等熔融石英/氟化钙材质制品
2.半导体晶圆：硅片/砷化镓基板表面平整度与薄膜厚度
3.精密机械部件：航空轴承滚道面、液压阀芯端面
4.MEMS器件：微镜阵列面形一致性
5.镀膜基片：ITO导电膜、AR增透膜层应力分布
检测方法
ASTME284-22《StandardTerminologyforAppearance》表面粗糙度测量规范
ISO10110-5:2015《光学和光子学光学元件和系统制图要求》面形公差标准
GB/T13323-2009《光学零件表面疵病》缺陷等级评定方法
GB/T16857.6-2014《产品几何量技术规范(GPS)坐标测量机的验收检测》三维形貌测试
ISO14999-4:2015《光学元件干涉法测量》相位解算技术要求
检测设备
1.ZygoVerifireMST：动态干涉仪，最大测量口径Φ600mm，重复精度λ/1000
2.TaylorHobsonCCILite：白光干涉仪，垂直分辨率0.01nm
3.MitutoyoSurftestSJ-410：接触式粗糙度仪，探针半径2μm
4.BrukerContourGT-X3：三维光学轮廓仪，横向分辨率0.9μm
5.4DTechnologyPhaseCam6000：动态相移干涉仪，振动抑制＞100Hz
6.Keysight5500ILM：激光干涉测量系统，线性测量范围80m
7.NikonNEXIVVM-300：视频测量机，XYZ轴精度(1.5+L/100)μm
8.RenishawXL-80：激光校准系统，线性精度0.5ppm
9.FisbaμPhaseFPS：光纤相位传感器，最小可测曲率半径0.5mm
10.TriopticsOptiCentricDual：双光路中心偏测量仪，角度分辨率1"