检测项目

1.线密度误差：测量实际刻线间距与理论值的偏差范围（0.5lines/mm以内）

2.周期均匀性：全视场范围内刻线周期波动量（≤0.1μm）

3.衍射效率：特定波长下1级衍射光强度比（≥85%）

4.基材透射率：400-900nm波段平均透射率（≥92%）

5.表面粗糙度：Ra值（≤5nm@632.8nm波长）

检测范围

1.光学玻璃基衍射光栅（熔融石英、BK7等）

2.金属反射式计量光栅（不锈钢、镀铬合金）

3.聚合物薄膜光栅（PET/PMMA基材）

4.半导体纳米压印光栅（硅基/砷化镓基）

5.激光全息防伪光栅（多层复合膜结构）

检测方法

ASTME903-20《材料光谱反射率标准测试方法》

ISO10110-8:2020《光学元件表面质量评价》

GB/T13323-2009《计量光栅参数测试方法》

ISO14978:2018《几何产品规范(GPS)测量设备通用要求》

GB/T19863-2005《激光衍射法粒度分析通则》

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：表面形貌三维测量（PV值＜λ/20）

2.KeyenceLS-9000激光扫描仪：线密度误差测量精度0.01μm

3.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：台阶高度测量分辨率0.1nm

4.OceanInsightQEPro光谱仪：350-1100nm波段衍射效率分析

5.MitutoyoCMM-C700三坐标机：大尺寸光栅几何参数测量

6.RenishawXL-80激光干涉系统：动态位移测量精度0.5ppm

7.HoribaLabRAMHREvolution拉曼光谱仪：材料应力分布检测

8.ZeissAxioImager.M2m金相显微镜：微观缺陷自动识别

9.AgilentCary7000分光光度计：透/反射率全波段测试

10.NikonNEXIVVMZ-S3520视频测量系统：二维刻线形貌分析