检测项目
1.线密度误差：测量实际刻线间距与理论值的偏差范围（0.5lines/mm以内）
2.周期均匀性：全视场范围内刻线周期波动量（≤0.1μm）
3.衍射效率：特定波长下1级衍射光强度比（≥85%）
4.基材透射率：400-900nm波段平均透射率（≥92%）
5.表面粗糙度：Ra值（≤5nm@632.8nm波长）
检测范围
1.光学玻璃基衍射光栅（熔融石英、BK7等）
2.金属反射式计量光栅（不锈钢、镀铬合金）
3.聚合物薄膜光栅（PET/PMMA基材）
4.半导体纳米压印光栅（硅基/砷化镓基）
5.激光全息防伪光栅（多层复合膜结构）
检测方法
ASTME903-20《材料光谱反射率标准测试方法》
ISO10110-8:2020《光学元件表面质量评价》
GB/T13323-2009《计量光栅参数测试方法》
ISO14978:2018《几何产品规范(GPS)测量设备通用要求》
GB/T19863-2005《激光衍射法粒度分析通则》
检测设备
1.ZygoVerifireMST干涉仪：表面形貌三维测量（PV值＜λ/20）
2.KeyenceLS-9000激光扫描仪：线密度误差测量精度0.01μm
3.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：台阶高度测量分辨率0.1nm
4.OceanInsightQEPro光谱仪：350-1100nm波段衍射效率分析
5.MitutoyoCMM-C700三坐标机：大尺寸光栅几何参数测量
6.RenishawXL-80激光干涉系统：动态位移测量精度0.5ppm
7.HoribaLabRAMHREvolution拉曼光谱仪：材料应力分布检测
8.ZeissAxioImager.M2m金相显微镜：微观缺陷自动识别
9.AgilentCary7000分光光度计：透/反射率全波段测试
10.NikonNEXIVVMZ-S3520视频测量系统：二维刻线形貌分析