检测项目

1.反射率：测量波长范围400-1600nm，反射率R≥99.5%

2.透射率：通带半高宽≤0.1nm，透射损耗T≤0.1%

3.腔长精度：误差范围5nm（@25℃）

4.表面粗糙度：镜面Ra≤0.5nm（扫描面积100μm）

5.温度稳定性：波长漂移Δλ/ΔT≤0.02nm/℃（-40℃~85℃）

检测范围

1.光学薄膜镀层：SiO₂/Ta₂O₅多层膜、金属-介质复合膜

2.半导体材料：InP基板、GaAs基板

3.光纤器件：保偏光纤FP腔、微机电系统（MEMS）可调FP滤波器

4.激光晶体：Nd:YAG晶体FP腔、钛宝石晶体FP腔

5.金属反射镜：金膜反射镜、银膜反射镜（厚度50-200nm）

检测方法

1.反射率测试：ASTME903-2012光谱反射法

2.透射率测试：ISO13697-2003激光量热法

3.腔长校准：GB/T15972.401-2008光纤几何尺寸测量法

4.表面形貌分析：ISO25178-2016白光干涉三维轮廓术

5.温度循环测试：GB/T2423.22-2012环境试验规程

检测设备

1.Zygo干涉仪（GPIXP/D）：表面粗糙度与面形精度测量（分辨率0.1nm）

2.AgilentCary7000紫外可见近红外分光光度计：400-2500nm光谱反射/透射分析

3.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：三维表面形貌扫描（垂直分辨率0.01nm）

4.KeysightN7744A多端口光功率计：插损测试精度0.02dB

5.YokogawaAQ6370D光谱分析仪：波长分辨率0.02nm（1200-1650nm）

6.ThermoScientificTS-780温度冲击试验箱：温变速率15℃/min

7.RenishawXL-80激光干涉仪：腔长测量精度1ppm

8.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：100X物镜下的微区缺陷检测

9.Newport1918-C光功率传感器：波长响应范围400-1800nm

10.ThorlabsSA201光纤光谱仪：高速FP谐振峰实时监测