检测项目
1.反射率：测量波长范围400-1600nm，反射率R≥99.5%
2.透射率：通带半高宽≤0.1nm，透射损耗T≤0.1%
3.腔长精度：误差范围5nm（@25℃）
4.表面粗糙度：镜面Ra≤0.5nm（扫描面积100μm）
5.温度稳定性：波长漂移Δλ/ΔT≤0.02nm/℃（-40℃~85℃）
检测范围
1.光学薄膜镀层：SiO₂/Ta₂O₅多层膜、金属-介质复合膜
2.半导体材料：InP基板、GaAs基板
3.光纤器件：保偏光纤FP腔、微机电系统（MEMS）可调FP滤波器
4.激光晶体：Nd:YAG晶体FP腔、钛宝石晶体FP腔
5.金属反射镜：金膜反射镜、银膜反射镜（厚度50-200nm）
检测方法
1.反射率测试：ASTME903-2012光谱反射法
2.透射率测试：ISO13697-2003激光量热法
3.腔长校准：GB/T15972.401-2008光纤几何尺寸测量法
4.表面形貌分析：ISO25178-2016白光干涉三维轮廓术
5.温度循环测试：GB/T2423.22-2012环境试验规程
检测设备
1.Zygo干涉仪（GPIXP/D）：表面粗糙度与面形精度测量（分辨率0.1nm）
2.AgilentCary7000紫外可见近红外分光光度计：400-2500nm光谱反射/透射分析
3.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：三维表面形貌扫描（垂直分辨率0.01nm）
4.KeysightN7744A多端口光功率计：插损测试精度0.02dB
5.YokogawaAQ6370D光谱分析仪：波长分辨率0.02nm（1200-1650nm）
6.ThermoScientificTS-780温度冲击试验箱：温变速率15℃/min
7.RenishawXL-80激光干涉仪：腔长测量精度1ppm
8.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：100X物镜下的微区缺陷检测
9.Newport1918-C光功率传感器：波长响应范围400-1800nm
10.ThorlabsSA201光纤光谱仪：高速FP谐振峰实时监测