(电浆)等离子体检测

检测项目

1. 电子温度（Te）：测量范围1-10 eV，精度±0.05 eV

2. 离子密度（ni）：量程10^8-10^13 cm^-3，分辨率±5%

3. 激发态粒子浓度：涵盖Ar*、O*等粒子类型

4. 等离子体电位（Vp）：测量范围±50 V

5. 电子能量分布函数（EEDF）：能量分辨率0.1 eV

检测范围

1. 半导体晶圆表面处理等离子体

2. 金属溅射镀膜工艺等离子体

3. 医用器械灭菌低温等离子体

4. 航天器推进器工质等离子体

5. 环境污染物处理用大气压等离子体

检测方法

1. ASTM E3061-17 光谱法测定电子温度

2. ISO 21237:2019 Langmuir探针诊断规范

3. GB/T 39218-2020 微波谐振腔密度测量法

4. ASTM E3025-16 发射光谱分析规程

5. GB/T 40047-2021 激光诱导荧光诊断技术

检测设备

1. Impedans Langmuir Pro系统：四探针阵列测量ni/Te

2. Hiden ESPion静电探针：空间分辨率达0.1 mm

3. Ocean Optics HR4000光谱仪：波长范围200-1100 nm

4. Keysight N5227A网络分析仪：微波诊断专用模块

5. Tektronix MDO3104示波器：高速信号采集（5 GS/s）

6. Princeton Instruments SP-2358单色仪：0.05 nm分辨率

7. Femto DHPCA-100电流放大器：10^8 V/A增益

8. Agilent 34461A数字万用表：6½位高精度测量

9. Thorlabs PM100D光功率计：波长响应190-2500 nm

10. LabVIEW PXIe-5171R采集卡：同步采样率1 MS/s

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"(电浆)等离子体检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。