检测项目
1. 电子温度（Te）：测量范围1-10 eV，精度±0.05 eV
2. 离子密度（ni）：量程10^8-10^13 cm^-3，分辨率±5%
3. 激发态粒子浓度：涵盖Ar*、O*等粒子类型
4. 等离子体电位（Vp）：测量范围±50 V
5. 电子能量分布函数（EEDF）：能量分辨率0.1 eV
检测范围
1. 半导体晶圆表面处理等离子体
2. 金属溅射镀膜工艺等离子体
3. 医用器械灭菌低温等离子体
4. 航天器推进器工质等离子体
5. 环境污染物处理用大气压等离子体
检测方法
1. ASTM E3061-17 光谱法测定电子温度
2. ISO 21237:2019 Langmuir探针诊断规范
3. GB/T 39218-2020 微波谐振腔密度测量法
4. ASTM E3025-16 发射光谱分析规程
5. GB/T 40047-2021 激光诱导荧光诊断技术
检测设备
1. Impedans Langmuir Pro系统：四探针阵列测量ni/Te
2. Hiden ESPion静电探针：空间分辨率达0.1 mm
3. Ocean Optics HR4000光谱仪：波长范围200-1100 nm
4. Keysight N5227A网络分析仪：微波诊断专用模块
5. Tektronix MDO3104示波器：高速信号采集（5 GS/s）
6. Princeton Instruments SP-2358单色仪：0.05 nm分辨率
7. Femto DHPCA-100电流放大器：10^8 V/A增益
8. Agilent 34461A数字万用表：6½位高精度测量
9. Thorlabs PM100D光功率计：波长响应190-2500 nm
10. LabVIEW PXIe-5171R采集卡：同步采样率1 MS/s