检测项目

1. 面形精度（PV值≤λ/10@632.8nm；RMS≤λ/50）

2. 曲率半径偏差（±0.05%测量精度）

3. 局部斜率误差（≤0.5μrad）

4. 表面粗糙度（Ra≤1nm@1mm×1mm采样区）

5. 反射波前畸变（WFE≤λ/4@633nm）

6. 面形Zernike系数分析（36项系数分解）

7. 热变形稳定性（ΔPV≤λ/20@ΔT=±10℃）

检测范围

1. 熔融石英基高精度平面/球面反射镜

2. 微晶玻璃天文望远镜主镜（Φ≥500mm）

3. Nd:YAG激光器谐振腔反射镜

4. EUV光刻机非球面多层膜反射镜

5. 红外硫系玻璃离轴抛物面镜

6. 金属基底轻量化曲面反射镜

7. 自由曲面特殊光学元件

检测方法

1. ASTM E903-12：基于积分球的反射率绝对测量法

2. ISO 10110-5:2015：光学元件面形公差标注规范

3. GB/T 1185-2006：光学零件面形偏差检验方法

4. ISO 14997:2012：光学表面缺陷定量评估标准

5. GB/T 2831-2009：光学零件曲率半径测试规程

6. DIN EN ISO 25178-604:2013：非接触式轮廓测量法

7. MIL-O-13830A：军用光学元件表面质量分级标准

检测设备

1. Zygo Verifire™ HD激光干涉仪（波长632.8nm，PV重复性0.3nm）

2. Taylor Hobson Form Talysurf PGI 1240轮廓仪（纵向分辨率0.8nm）

3. Bruker ContourGT-X3白光干涉仪（垂直分辨率0.1nm）

4. Trioptics OptiSpheric® IRL红外干涉仪（工作波段3-12μm）

5. 4D Technology PhaseCam®动态干涉仪（抗振等级＞10Hz）

6. Keysight 5500AFM原子力显微镜（扫描范围90μm×90μm）

7. Mitutoyo CMM Legex 322三坐标机（空间精度0.6+L/400μm）

8. OptoTech ASM 700非球面测量系统（最大直径700mm）

9. Fisba Fizeau干涉仪模块（可扩展1064nm/10.6μm光源）

10. QED Technologies SSI-A子孔径拼接干涉仪（适用于自由曲面）