分压强计检测

检测项目

1.真空度范围测试：覆盖10⁻⁶~10Pa量程精度验证

2.灵敏度校准：最小可检分压值≤0.1%FS

3.线性度误差分析：全量程范围内偏差≤0.5%

4.响应时间测定：90%量程响应≤3秒

5.温度稳定性测试：-20℃~50℃环境下的示值漂移≤0.2%/℃

检测范围

1.半导体制造用高纯气体输送系统

2.光学镀膜设备的真空腔室

3.航空航天用热真空试验舱

4.低温超导磁体冷却系统

5.核聚变装置等离子体控制单元

检测方法

ASTME2971-22《质谱型分压强计校准方法》

ISO3567:2021《真空计与分压计的比对校准》

GB/T34879-2017《真空计校准规范》

GB/T32212-2015《四极质谱分析仪通用规范》

JJF1719-2018《电容薄膜真空计校准规范》

检测设备

1.MKS925B分压强计：量程10⁻⁷~1000Torr，分辨率0.001%

2.INFICONPGM-724四极质谱仪：质量数1-200amu

3.Agilent5991B气体分析系统：支持6种气体同步检测

4.LeyboldCDG025D电容薄膜规：精度0.25%读数

5.PfeifferHPT200分子泵组：极限真空510⁻⁸mbar

6.EdwardsXDS35i涡旋干泵：抽速35m/h

7.VarianB-A电离规：测量范围10⁻~10⁻⁸Torr

8.CanonANELVAMRG-1000标准漏孔：漏率110⁻⁷Pam/s

9.ShimadzuGCMS-QP2020气相色谱质谱联用仪

10.BronkhorstEL-FLOWPrestige气体质量流量控制器

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"分压强计检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。