检测项目
1.真空度范围测试：覆盖10⁻⁶~10Pa量程精度验证
2.灵敏度校准：最小可检分压值≤0.1%FS
3.线性度误差分析：全量程范围内偏差≤0.5%
4.响应时间测定：90%量程响应≤3秒
5.温度稳定性测试：-20℃~50℃环境下的示值漂移≤0.2%/℃
检测范围
1.半导体制造用高纯气体输送系统
2.光学镀膜设备的真空腔室
3.航空航天用热真空试验舱
4.低温超导磁体冷却系统
5.核聚变装置等离子体控制单元
检测方法
ASTME2971-22《质谱型分压强计校准方法》
ISO3567:2021《真空计与分压计的比对校准》
GB/T34879-2017《真空计校准规范》
GB/T32212-2015《四极质谱分析仪通用规范》
JJF1719-2018《电容薄膜真空计校准规范》
检测设备
1.MKS925B分压强计：量程10⁻⁷~1000Torr，分辨率0.001%
2.INFICONPGM-724四极质谱仪：质量数1-200amu
3.Agilent5991B气体分析系统：支持6种气体同步检测
4.LeyboldCDG025D电容薄膜规：精度0.25%读数
5.PfeifferHPT200分子泵组：极限真空510⁻⁸mbar
6.EdwardsXDS35i涡旋干泵：抽速35m/h
7.VarianB-A电离规：测量范围10⁻~10⁻⁸Torr
8.CanonANELVAMRG-1000标准漏孔：漏率110⁻⁷Pam/s
9.ShimadzuGCMS-QP2020气相色谱质谱联用仪
10.BronkhorstEL-FLOWPrestige气体质量流量控制器