检测项目

1.电离效率系数测定：测量范围0.1-1000cm/s，精度2%

2.离子迁移率分析：覆盖10⁻⁵-10⁻cm/(Vs)量程

3.二次电子产额测试：能量阈值0.1-30keV

4.表面电荷密度测量：分辨率0.01pC/mm

5.能谱特征分析：能量分辨率≤0.5eV@1keV

6.热脱附电离效率：温度范围-196℃至1200℃

检测范围

1.半导体材料：包括硅晶圆、GaN衬底、碳化硅基板等

2.高分子聚合物：聚酰亚胺薄膜、PTFE绝缘材料

3.纳米涂层材料：类金刚石涂层(DLC)、氮化钛镀层

4.环境污染物：PM2.5颗粒物、挥发性有机化合物(VOCs)

5.生物医用材料：钛合金植入体表面处理层

检测方法

ASTME2867-19：表面电荷密度测量规范

ISO18118:2015：电子能谱定量分析方法

GB/T19500-2023：X射线光电子能谱通则

ISO21283:2018：二次离子质谱分析通则

GB/T40109-2021：表面化学分析二次离子质谱

检测设备

1.ThermoScientificTSQ9000三重四极杆质谱仪：用于痕量离子定量分析

2.KratosAXISSupraXPS系统：配备单色AlKαX射线源(1486.6eV)

3.HidenSIMS工作站：配备液态金属离子枪(LMIG)，质量分辨率＞20,000

4.Agilent8900ICP-MS/MS：双四极杆碰撞反应池技术

5.BrukerDimensionIcon原子力显微镜：Kelvin探针力测量模块

6.PHI5000VersaProbeIII：多模式XPS深度剖析系统

7.WatersXevoTQ-Smicro液质联用仪：ESI/APCI复合电离源

8.ShimadzuSALD-7500nano激光粒度仪：支持动态光散射模式

9.PerkinElmerNexION350DICP-MS：四极杆质量过滤器带宽可调至0.3amu

10.JEOLJAMP-9500FAuger微探针：空间分辨率达8nm