检测项目
1.氧气纯度：测定O₂含量（99.999%-99.9999%），监测氮氧化物杂质
2.氮气纯度：分析N₂主成分（≥99.999%），检测CO₂/H2O残留量
3.氢气纯度：H₂浓度测定（99.99%-99.9999%），CO/CH4痕量分析
4.氩气纯度：Ar主含量（≥99.999%），氧氮杂质控制（≤1ppm）
5.特种气体：六氟化硫中空气含量（≤0.05%），氟化物杂质检测
检测范围
1.工业气体：焊接保护气、切割气、热处理气氛气体
2.电子特气：半导体制造用硅烷、磷烷、氨气
3.医用气体：麻醉气体、呼吸机用氧、灭菌环氧乙烷
4.高纯气体：5N级氦气、7N级氢气、超纯氩气
5.实验室气体：色谱载气、质谱标气、反应实验气体
检测方法
1.气相色谱法：ASTMD1945-14测定烃类杂质；GB/T8984-2008气体组分分析
2.质谱分析法：ISO6142-2015标气配制；GB/T5274-2008动态体积法
3.红外光谱法：ASTME168测定CO/CO₂；GB/T8981-2018红外线吸收法
4.电化学法：ISO8573-5露点测试；GB/T5832.1-2016微量水测定
5.激光光谱法：ASTME260-96痕量气体分析；GB/T28727-2012气体杂质检测
检测设备
1.Agilent7890B气相色谱仪：配备TCD/FID双检测器，分辨率0.1ppm
2.SiemensMaxumII工业色谱系统：在线监测30种组分气体
3.AMETEKProProcess质谱仪：质量范围1-300amu，精度0.01%
4.MettlerToledoGPro500露点仪：测量范围-100~+20Ctd
5.ServomexXentra4900红外分析仪：多组分同时测量精度0.01%FS
6.HORIBAVA-3000微量氧分析仪：最低检出限0.1ppbO₂
7.BrukerEM27痕量气体监测系统：量子级联激光光谱技术
8.PanametricsXMT868水分仪：电解法测量精度1%读数
9.EnvironicsS4000动态配气装置：混合精度0.5%浓度值
10.INFICONHAPSITE便携式气质联用仪：现场快速筛查200种VOCs