检测项目
1. 弧高测量：精度±0.1μm，量程0-500μm
2. 曲率半径分析：分辨率0.01mm⁻¹
3. 光散射强度：波长范围380-780nm
4. 表面粗糙度：Ra≤0.05μm
5. 透射波前畸变：PV值≤λ/4@632.8nm
检测范围
1. 光学玻璃透镜
2. 蓝宝石窗口片
3. 半导体晶圆切割面
4. 光纤端面
5. LED封装透镜
检测方法
1. ASTM F2156-18 光学元件表面缺陷表征
2. ISO 10110-5 光学元件表面瑕疵评定
3. GB/T 1185-2006 光学零件表面疵病
4. ISO 14997-2011 光学元件激光损伤测试
5. GB/T 26189-2010 光学系统杂散光测试方法
检测设备
1. Zygo Verifire MST干涉仪：波前分析精度λ/100
2. Mitutoyo SURFTEST SJ-410：粗糙度测量分辨率1nm
3. Olympus LEXT OLS5000激光显微镜：Z轴分辨率0.01μm
4. Ocean Insight HR4000光谱仪：波长精度±0.1nm
5. Keyence VK-X3000共聚焦显微镜：最大倍率15000×
6. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.01Å
7. Hamamatsu C12880MA微型光谱仪：积分时间10μs-10s
8. Nikon MM-400测量显微镜：载物台定位精度±1μm
9. Agilent Cary 7000全能型分光光度计：波长范围175-3300nm
10. Thorlabs BP209-VIS/M光束分析仪：最大功率30W