检测项目
1. 表面电位测试：测量范围±0.1kV至±50kV，分辨率≤1V
2. 电荷密度分析：精度±5%，量程0.01μC/m²至1000μC/m²
3. 电场强度分布：三维场强测绘精度±3%，最大量程200kV/m
4. 电荷衰减特性：时间常数测定范围10ms-3600s
5. 介电常数测定：频率范围1Hz-1MHz，温度控制±0.5℃
检测范围
1. 半导体晶圆及封装材料
2. 高分子绝缘薄膜（PET/PC/PI）
3. MEMS传感器电极组件
4. 医用高分子导管及植入器械
5. 抗静电纺织品及复合材料
检测方法
1. ASTM D4470-2018非接触式表面电位测试规程
2. ISO 12417:2021电荷衰减特性动态分析法
3. GB/T 12703.1-2021纺织品静电性能评价第1部分
4. IEC 61340-4-1:2015电子器件静电防护标准
5. GB/T 16801-2013绝缘材料体积电阻率测定法
检测设备
1. Keithley 6517B静电计：分辨率0.1fA/1μV
2. Trek Model 550非接触式表面电位测试仪：扫描速度10点/秒
3. Monroe Electronics Model 284E场强测绘系统：空间分辨率0.1mm
4. Keysight E4990A阻抗分析仪：频率精度±0.05%
5. Simco FMX-003静电衰减测试仪：时间分辨率10ms
6. Mitsubishi Chemical MCP-HT450高温介电分析系统
7. Thermo Scientific CEDAW-12环境可控电荷分析舱
8. HIOKI IM3590化学阻抗分析仪：相位角精度±0.05°
9. Electro-Tech Systems Model 344电荷注入装置
10. Omicron BDS 1200三维电场成像系统