检测项目

1. 波导几何尺寸：宽度（15-50μm）、高度（5-20μm）、侧壁垂直度（≤89°）、表面粗糙度（Ra≤10nm）

2. 折射率分布：芯层折射率（1.44-3.50）、包层折射率差（Δn=0.01-0.3）

3. 传输损耗：1550nm波长下损耗值（≤0.5dB/cm）、偏振相关损耗（PDL≤0.1dB）

4. 偏振特性：双折射系数（≤1×10⁻⁴）、偏振串扰（≤-30dB）

5. 温度稳定性：热膨胀系数（CTE≤5ppm/℃）、工作温度范围（-40℃~85℃）

检测范围

1. 硅基脊形波导：SOI晶圆制备的微纳光波导

2. 聚合物基波导：SU-8、PMMA等有机材料光波导

3. III-V族半导体波导：InP、GaAs基光子集成回路

4. 二氧化硅基波导：PLC平面光波电路器件

5. 氮化硅基波导：Si₃N₄低损耗光互连器件

检测方法

1. ASTM E2101-00(2021)：白光干涉法测量三维形貌

2. ISO 14782:1999：棱镜耦合技术测定折射率分布

3. GB/T 15972.40-2021：截断法测量光纤类器件传输损耗

4. IEC 61757-1:2020：偏振分析仪测试双折射特性

5. GB/T 26179-2010：热循环试验箱评估温度稳定性

检测设备

1. Zygo NewView 9000白光干涉仪：三维形貌测量精度0.1nm

2. Metricon 2010/M棱镜耦合仪：折射率分辨率0.0001

3. Agilent N5227A矢量网络分析仪：光损耗测试频率至67GHz

4. EXFO FTB-5500B偏振分析仪：PDL测量精度±0.02dB

5. Thermo Scientific ATS系列热冲击箱：温变速率15℃/min

6. Bruker DektakXT轮廓仪：台阶高度重复性0.5nm

7. Ando AQ6317B光谱分析仪：波长分辨率0.01nm

8. Olympus LEXT OLS5000激光显微镜：横向分辨率120nm

9. Keysight N7788B光波元件分析仪：相位噪声-140dBc/Hz

10. Veeco Dimension Icon原子力显微镜：Z轴分辨率0.05nm